Параметри ємнісних датчиків тиску, впорядковані за типом датчика

№ Тип датчика (диференціальні, абсолютного тиску, високотемпературні, герметичні, мініатюрні, низького тиску) Контрольована величина Активний матеріал Матриця, підкладка або електроди Мінімальний тиск, Па Роздільна здатність, Па Чутливість, Па-1 Робочий діапазон, Па Швидкість реакції, мс Кількість циклів Методи вимірювання Країна авторів Стаття

Огляди

2.Низького тиску носимий пасивний ємнісний манометричний медичний | Диференціальні Ємність Різні Кремній - - - - - - Різні конструкції Бельгія1993-Puers-Capacitive sensors - when and how to use them
4.Середнього тиску стаціонарний пасивний ємнісний манометричний аерокосмічний | Високотемпературний Ємність Кремній Al2O3 - - - - (0.5-40)*10^5 - - Інтегральна схема Франція1996-Bailleul-Review of progress in the development of capacitive sensors
23. Джерела енергії для датчиків pH, IR Про датчики ємності посилань немає -------- США, Китай 2012-Wang-Nanotechnology‐enabled energy harves
45. Самопоживна або енергетично автономна e-шкіра - Про датчики ємності посилань немає -------- Англія 2019-Núñez-Energy autonomous electronic skin
57. П'єзоелектричні наногенератори П'єзонапруга Посилання на ємнісні датчики 2,3 -------- Китай 2019-Yuan-Flexible electronic skins based on p
64. П'єзоелектричний Зміна напруги Про датчики ємності посилань немає -------- Китай 2020-Duan-Innovation Strategy Selection Facili
67. Керамічні датчики вологості, теплові, ємнісні, резистивні, газові Різні Про датчики ємності посилань немає -------- Індія 2020-Krishna Prasad-Ceramic Sensors_ A mini-re
71. Резистивні датчики для моніторингу рівнів вологості Електроопір Про датчики ємності посилань немає -------- Англія 2020-Scott-Adapting resistive sensors for moni
91. Strain sensors, pressure sensors, nanogenerators, supercapacitors, batteries, transistors, conductors, transparent electrodes, photodetectors, chemical sensors- Electrospun nano fibers------- Electrospinning Japan2021-Wang-Electrospun nanofiber-based soft ele
95. Capacitance pressure sensor with porous dielectric materials (recommended for vital signs monitoring) Pressure Porous dielectric materials Parallel plate capacitor-- High sensitivity due to simultaneous modification of d values under external stimuli Ample operating range-- Electrical transduction-based pressure sensors, including resistance, capacitance, piezoelectric, and triboelectric pressure sensors Korea2022-Chittibabu-Porous dielectric materials ba
96. Гнучкі керамічні волокна - Про датчики ємності посилань немає -------- Китай 2022-Jia-Flexible Ceramic Fibers_ Recent Devel
99. Ємнісні та резистивні датчики вологості Емність, опір Lead-Free Halide Perovskite Nanomaterials, Посилання на ємнісні датчики 6,8,92-94, таблиця 2 ---------2022-Tambwe-Humidity Sensing Applications of L
100. Діелектричні композити для зберігання та перетворення енергії - Про датчики ємності посилань немає -------- Китай 2022-Wu-Polymer‐_Ceramic‐based Dielectric Comp
104. Датчик вологості Ємність Про датчики ємності посилань немає -------- США 2023-Alfaifi-MEMS Humidity Sensors

Ємнісні датчики низького тиску

6.Низького тиску стаціонарний пасивний ємнісний абсолютного тиску Галузі немає Ємність Жертовний шар Si3N4 PECVD Кремній - - - (0-3)*10^5 1 - Тестовий стенд Франція1997-Rey-A high density capacitive pressure se

Ємнісні датчики торкання (touch, triboelectric)

7.Торкання стаціонарний пасивний ємнісний абсолютного тиску Галузі немає | мікромеханічного тиску Ємність, резонанс Si Скло - - 1579 ppm/мм рт. ст. (0-6666) 0-50 мм рт. ст. - - Резонанасна частота антени (HP9141A) США 2001-Akar-A wireless batch sealed absolute cap

Ємнісні датчики наближення (proximity)

5.Наближення стаціонарний пасивний ємнісний абсолютного тиску промисловий | координати Ємність Біморфна пластина - - - 0.05% - 0.02 - Диференціальний інтерферометр HP 10719A Італія, Словакія1996-Picotto-Scanning tunneling microscopy hea
37. Multi-sensory e-skin with sensors for temperature, in-plane strain, relative humidity, ultraviolet light, magnetic field, pressure, and proximity Various stimuli in ambient environment Resistive metals such as platinum and constantan alloy, as well as specific sensitive elements for each stimulus Highly stretchable and conformable polyimide network with 100 sensory nodes connected by meandering wires 10 kPa for low-pressure sensors- Highly sensitive detections for different stimuli-- Meandering wires show very good stability after 54,000 cycles at 300 expansion in durability tests SEM imaging, force gauge, resistance and capacitance measurements, sensor currents measurements China2018-Hua-Skin-inspired highly stretchable and
76. Capacitive (specifically, proximity and pressure sensing) Distance and force Copper foil, polyimide, polyurethane, and a new type of semiconductor material based on super capacitor Double-layer pressure-capacitance sensing structure 0.1N 0.04N (for accurate measurement equipment level), 0.1N (for most application scenarios) 28.6 pf - N (for the first linear segment), 0.68 pf - N (for the second linear segment)- Less than 2s Can withstand up to 500N force without damage Capacitance measurement circuit and correction value precision instrument calibration China2020-Wang-Electronic skin based on flexible ca
84. Proximity, Miniature Proximity, Object location, Edge detection, Shape evaluation Silicon photovoltaic cells, Infrared light emitting diodes (IRLEDs) Polydimethylsiloxane (PDMS)------ Shadow detection, Proximity sensing Netherlands2021-Escobedo-Energy Generating Electronic Ski

Диференціальні ємнісні датчики тиску

1.Середнього тиску стаціонарний пасивний ємнісний п`єзоелектричний диференціальний Галузі немає Ємність і п'єзоопір SiO2 Кремній 3*10^4 - - (0.3-1.3)*10^5 20 - Перетворювач ємність-частота Японія1991-Kudoh-An integrated miniature capacitive
3.Середнього тиску стаціонарний пасивний ємнісний диференціальний Галузі немає Ємність Кремній Пірекс 10^5 - - - (1-6)*10^5 - - Інтегральна схема Франція, Німеччина1995-Blasquez-Capacitive Pressure Sensor Mock-
14. Диференціальний Ємність Крапля ртуті Керамічні діелектричні шари BaSrTiO3 10 1 2.24 μF/kPa 10-3000 50 50 000 Безконтактні США 2010-Bakhoum-Novel Capacitive Pressure Sensor
18. Диференціальний Єність -------- reading the frequency using a digital oscilloscope Spain 2011-Luque-Capacitive pressure sensor fabricat
31. диференційний polyimide membranes with electrodes on them capacity polyimide membranes with electrodes on them - 0 bar 0.1 bar 16.7 pF/bar 0-1 bar - two cycles The precise and a stabile pressure values applied on the sensor are set and controlled by the precise transmitter DPharp, model EJA550A Yokogawa, The sensor is placed in the pressure chamber and connected to the Impedance Analyzer HP4191A Serbia 2017-Kisić-Fully ink-jet printed capacitive pr
44. Диференційний Ємність polydimethylsiloxane (PDMS)/NaNO3 polyethylene terephthalate(PET)thermoplastic polyurethane(TPU) -- 520 0-900 000 800 - LCR meter Agilent E4980A США 2019-Masihi-A novel printed fabric based porou
49. Диференційований Ємність sugar and NaCl particles/PDMS elastomer Cu/Ni nanofiber network --- 0-100 000 169 10 000 Agilent 4263B LCR meter Japan, France 2019-Wang-Capacitive Pressure Sensor with Wide
50. Диференціальний Ємність PDMS (polydimethylsiloxane)/C-nano composite double-sided Cu-tape 4 - 1100 0-10 000 60 11 000 - Китай 2019-Wei-Flexible capacitive pressure sensor w
54. Диференціальний Ємність ionic liquid polyurethane sponge (ILPU) indium tin oxide polyethylene terephthalate (ITO-PET) films -- 5280 --- WK6500B impedance analyzer (Shenzhen Wenke Electronics Co., Ltd) Китай 2019-Yang-A flexible ionic liquid-polyurethane
58. диференціальні ємність polydimethylsiloxane (PDMS) Ti/Au-patterned polyethylene terephthalate (PET) 1,5 - 14268 1,5-40 000 50 10 000 Agilent 4294A Precision Impedance Analyzer Китай 2019-Zeng-Tunable, Ultrasensitive, and Flexibl
59. Диференційний ємність, п'єзоопір (PVDF) film /AgNWs/polydimethylsiloxane (PDMS) micropore PE 300 -- 0-45000 50 - capacitance tester (GWINSTEK, LCR-8110G) Китай 2019-Zhang-Flexible wide-range capacitive pres
66. Диференціальний Ємність TiO2, PVDF, PVA Nanofibrous AgNWs, silver glue (SPI) 0.8 - 4.4*10^3 1-3*10^5 16 50 000 Keysight E4980AL Precision LCR Meter. Китай 2020-Fu-A Highly Sensitive, Reliable, and High
68. Диференціальний Ємність Polydimethylsiloxane (PDMS) Glass 5 - 1.15*10^3 5-10^6 - 1000 precision LCR Meter (4090A,VICTOR, China) Китай 2020-Li-A porous and air gap elastomeric diele
69. Диференціальний Ємність Polydimethylsiloxane (PDMS) Nickel on polyester yarns -- 23 0 - 200 kPa 155 1000 - China 2020-Li-Capacitive pressure sensor inlaid a po
72. Диференціальний Ємність MXene composite anofibrous scaffolds (CNS) PSS/polydimethylsiloxane (PDMS) 1,5 - 510 0-4*10^5 15 10000 LCR meter (Hioki, IM 3536) Korea 2020-Sharma-Wearable Capacitive Pressure Senso
74. Диференційний Посилання на 2022 Yang Chii Rong BaTiO-dopedpolyvinylidene fluoride fibers+ polydimethylsiloxane graphene/PI film 0.11 - 5000 -25 10 000 - Тайвань 2020-Sun-Bioinspired, Self-Powered, and Highly
77. Диференційний Ємність thermoplastic polyurethane (TPU)+ nanowires (AgNWs) carbon nanotubes (CNTs) 9,24 -7240 9-980 55 1000 LCR-meter (E4980AL, Agilent, Palo Alto) Китай 2020-Wang-Highly Sensitive, Breathable, and Fl
78. Диференціальний п'єзоопір, ємність посилання на 2022-Yuxin - 10,2 -- 200 000 90 10 000 - Китай 2020-Wen-Machine Learning Glove Using Self-Pow
98. диференційний ємність Poly l-lactic acid (PLLA)nanofibers Ag printing tank -- 35 і 1200 Hz kPa−1 0-16000 - 1800 Agilent 4294A Precision Impedance Analyzer Британія 2022-Nikbakhtnasraba-Smart Bandage with Induct
101. Диференціальний Ємність polydimethylsiloxane (PDMS) + BaTiO3 - 0.21 - 7847 - 20-25 -- China 2022-Yang-Arrayed porous polydimethylsiloxane_
103. Диференціальний Ємність Мембрана з орієнтированних волокон Полиелектролитна мембрана 1.1 - 2.30*10^5 1.1–10^5 --- China 2022-Yue-Ultra-sensitive pressure sensors base

Ємнісні датчики абсолютного тиску

5.Наближення стаціонарний пасивний ємнісний абсолютного тиску промисловий | координати Ємність Біморфна пластина - - - 0.05% - 0.02 - Диференціальний інтерферометр HP 10719A Італія, Словакія1996-Picotto-Scanning tunneling microscopy hea
6.Низького тиску стаціонарний пасивний ємнісний абсолютного тиску Галузі немає Ємність Жертовний шар Si3N4 PECVD Кремній - - - (0-3)*10^5 1 - Тестовий стенд Франція1997-Rey-A high density capacitive pressure se
7.Торкання стаціонарний пасивний ємнісний абсолютного тиску Галузі немає | мікромеханічного тиску Ємність, резонанс Si Скло - - 1579 ppm/мм рт. ст. (0-6666) 0-50 мм рт. ст. - - Резонанасна частота антени (HP9141A) США 2001-Akar-A wireless batch sealed absolute cap
8.Середнього тиску стаціонарний пасивний ємнісний абсолютного тиску побутовий | Високотемпературний---------- США 2002-Fonseca-Wireless Micromachined Ceramic Pressure Sensor
10.Середнього тиску стаціонарний пасивний ємнісний абсолютного тиску автомобільний медичний | Абсолютного тиску---------- Індія 2003-Gupta-Capacitive pressure sensor for MEMS
11. Абсолютного тиску Ємність Полімер SU-8-2 чи AZ4620 Нержавіюча сталь, нікель -- 9.03 ppm kPa−1 0–178 kPa --- США, Корея 2004-Chang-Capacitive pressure sensors with st
12. Абсолютного тиску Ємність - LTCC підкладка ------ Agilent 4263B LCR meter Нідерланди 2005-Meijerink-Capacitive pressure sensor in p
13. Абсолютного тиску Ємність, частота LTCC кераміка Металева трубка -- 3.5 Hz/kPa 0-70 кПа -- Перетворення ємність -> частота Словенія 2008-Belavic-Capacitive pressure sensors reali
16. Абсолютного тиску, LTCC Ємність -------- Microchip PIC16F73 microcontroller Romania 2010-Tamas-Implementing a capacitive pressur
17. Абсолютного тиску, LTCC Ємність -------- designed electronic interface module based on a CY8C24794 Programmable System on Chip (PSoC) Slovenia 2010-Zarnik-An LTCC-based capacitive pressure sensor with a digital output
19. Абсолютного тиску Ємність --- 0.025% - +/-3.5KPa -- ємнісний діелектричний конденсатор механічно зв'язаний з діафрагмою, що вимірює тиск США 2011-Zhang-A high-sensitive ultra-thin MEMS ca
24. LTCC керамічний абсолютного тиску Ємність LTCC кераміка металеві електроди ------- Spain 2013-Fernández-Sanjuán-Ceramic Capacitive Pressure Sensor based on LTCC Technology
25. LTCC керамічний абсолютного тиску Ємність LTCC кераміка Zr2O3 металеві електроди -- 344 kHz/bar 0-240 кПа --- Китай, США 2013-Xiong-Wireless LTCC-based capacitive pres
47. High-temperature, Miniature, Hermetic, Absolute pressure, Differential Pressure Al2O3 dielectric Aluminum foil 500 Pa- 8 kPa.1 Up to 14 kPa 100 ms- Field-effect transistor China2019-Sun-Printed High-k Dielectric for Flexibl
52. Capacitive pressure (Absolute pressure) Pressure Water-soluble polyvinyl alcohol template-assisted silver nano-fibers 3D penetrated fabric 0.283 KPa- 0.283 KPa- Quick 20,000 Capacitance pressure sensor China2019-Wu-All-Textile Electronic Skin Enabled by

Високотемпературні ємнісні датчики

8.Середнього тиску стаціонарний пасивний ємнісний абсолютного тиску побутовий | Високотемпературний---------- США 2002-Fonseca-Wireless Micromachined Ceramic Pressure Sensor
47. High-temperature, Miniature, Hermetic, Absolute pressure, Differential Pressure Al2O3 dielectric Aluminum foil 500 Pa- 8 kPa.1 Up to 14 kPa 100 ms- Field-effect transistor China2019-Sun-Printed High-k Dielectric for Flexibl

Ємнісні датчики вологості (humidity)

20. Ємнісний сенсор вологості - товстий шар нанопорошку g-Fe2O3 (maghemite) гідрофільна матриця полідіалілдиметиламоній хлориду ------ Саморобна система Italy 2012-Donato-Polymer Metal Oxides Composites on
37. Multi-sensory e-skin with sensors for temperature, in-plane strain, relative humidity, ultraviolet light, magnetic field, pressure, and proximity Various stimuli in ambient environment Resistive metals such as platinum and constantan alloy, as well as specific sensitive elements for each stimulus Highly stretchable and conformable polyimide network with 100 sensory nodes connected by meandering wires 10 kPa for low-pressure sensors- Highly sensitive detections for different stimuli-- Meandering wires show very good stability after 54,000 cycles at 300 expansion in durability tests SEM imaging, force gauge, resistance and capacitance measurements, sensor currents measurements China2018-Hua-Skin-inspired highly stretchable and
70. Вологості Ємність Polyvinylidene fluoride (PVDF)-BaTiO3 composite films Indium tin oxide (ITO) electrodes purchased 40% вологості - 0.2416 pF/%RH 40-90% вологості 4000 - MS5308 LCR meter Катар 2020-Mallick-Effect of BaTiO3 on the sensing p
85. Humidity Humidity Keratin composites Graphene oxide and carbon fibers------ Morphology analysis, Raman spectra, FT-IR analysis, Crystallinity analysis France2021-Hammouche-A comparative study of capaciti

Інші пристрої

9.Середнього тиску носимий пасивний ємнісний манометричний  Галузі немає Ємність Ємність на основі двох провідних смуг, розділених пружним діелектриком Тканина - Rows and columns conductive fibers patterned on two opposite sides elastic synthetic foam Hundreds of fl spaced apart at meters distance About 200pm for both minimum width and spacing wires Coupling capacitance variation about 100 fF induced by light pressure exerted over 1m2 fabric surface Wide pressure range 333 мс, Real-time display at about 3 F-s onto PC monitor- Синусоїдальна хвиля прикладається до пікселя масиву конденсаторів, який заряджається до напруги, яка пропорційна ємності та зчитується підсилювачем. Italy2002-Sergio-A textile based capacitive pressur
15. Датчик високочастотних флуктуацій тиску Тиск Polydimethylsiloxane (PDMS) Алюмінієви та мідний електроди ------- Germany 2010-Riedl-A novel PDMS based capacitive press
21. Тиску носимий пасивний ємнісний манометричний побутовий flexible for plantar pressure measurement capacity PDMS pre-polymer and the curing agent --- 6.8%/N 0–945 kPa -- The capacitance values of the sensor were measured by a capacitance meter (Model: 9216A, Protek) Taiwan 2012-Lei-Development of a flexible PDMS capaci
22. Друкований матричний гнучкий ємнісний датчик високого тиску Ємність полідиметилсилоксан (PDMS) як діелектричний шар металізаційні шари 800 kPa - 800 kPa 800 kPa - 18 MPa --- США 2012-Narakathu-A novel fully printed and flexi
23. Джерела енергії для датчиків pH, IR Про датчики ємності посилань немає -------- США, Китай 2012-Wang-Nanotechnology‐enabled energy harves
26. Повністю надрукований гнучкий датчик високого тиску Ємність polydimethylsiloxane (PDMS) epsilon = 2.65 електроди - Silver (Ag) ink 0.2 MPa 1 % - 3.6 % - 0.2 MPa - 2.4 MPa -- An Agilent E4980A LCR meter along with a custom built LabVIEW™ program США 2014-Eshkeiti-Screen printed flexible capaciti
27. П'єзоелектричний наногенератор енергії П'єзоефект seven monolayers of the BG ZnO NR PDMS layers ------- Корея, США 2014-Lee-Ultrathin self-powered artificial ski
28. Гнучкі датчики високого тиску Ємність PDMS (Sylgard® 184 Silicone Elastomer kit) Eutectic GaIn liquid metal -- 0.11%/MPa 0.25 MPa - 1.1 MPa -- Agilent E4980A precision LCR meter США 2016-Ali-Eutectic Ga-In liquid metal based fle
29. високого тиску Sheet sensor using mechanoluminescent material Inner crack visualization SrAl2O4Eu mechanoluminescent material---- High-pressure storage cylinder for hydrogen filling station-- Non-destructive evaluation technique Japan2016-Fujio-Sheet sensor using SrAl2O4_Eu mecha
30.Тиску носимий пасивний ємнісний манометричний побутовий тканинний Conductive Fabric and a Microporous Dielectric Layer capacity the silicone elastomer, Ecoflex 30 -- 0.86 kPa 121 × 10−4 kPa−1 for the sensors with sugar-generated micropores, and 45 × 10−4 kPa−1 for the sensors with saltgenerated micropores 0-100 kPa 10 s 100 cycles capacitance was measured during testing with a capacitance meter (Model 3000, GLK instruments CA, USA) Turkey, USA 2017-Atalay-A Highly Sensitive Capacitive‐Base
32. Capacitive pressure sensor with patterned elastic microstructures as dielectric layer (Miniature) Pressure Polydimethylsiloxane (PDMS) Indium tin oxide (ITO) coated glass or flexible polyethylene terephthalate (PET) film 70 Pa- Up to 10.4 kPa-1 under pressure below 70 Pa, and 0.043-0.052 kPa-1 under pressure between 2 and 8 kPa 0-28 kPa-- Capacitance measurement and triboelectric effect China2017-Peng-The elastic microstructures of inkje
33. Differential Pressure Graphene Paper 0 kPa- 17.2 kPa1 0-20 kPa-- Tensile strain testing, electrical signal recording China2017-Tao-Graphene-Paper Pressure Sensor for De
34. Differential Pressure 3D graphene film Hierarchical structured PDMS 0.2 Pa- 110 kPa.1 0.2 kPa - 75 kPa 30 ms More than 10,000 loading-unloading cycles Universal testing machine China2017-Xia-CVD growth of fingerprint-like patter
35. Biodegradable strain and pressure sensor Mechanical forces on tendons Biodegradable elastomer PGS polyglycerol sebacate and POMaC poly octamethylene maleate anhydride citrate Biodegradable materials 12 Pa Discriminating strain as small as pressure exerted by grain salt 12 Pa High pressure sensitivity and fast response time In vivo strain exerted on tendons is lower than 10 refs Millisecond range 54 higher fatigue life Strain and pressure sensing using two vertically isolated sensors United Kingdom2018-Boutry-A stretchable and biodegradable st
36. Capacitive Differential Pressure Polydimethylsiloxane (PDMS) Biaxially oriented polypropylene (BOPP) 0.1 Pa- 3.73 kPa.1- 21 ms 10,000 cycles Capacitance measurement China2018-Cheng-Flexible Pressure Sensor With High
38. Capacitive, Pressure Pressure SiO2 nanoparticles, PDMS Transparent conducting polymers Few Pascal- 1.0 kPa.1 Few Pascal to tens kilopascal Low- Capacitance measuring and data acquisition system Korea2018-Kim-Transparent, Flexible, Conformal Capa
39. Scalable Elasticoluminescent Strain Sensor Strain-Stress Eu-doped SrAl2O4 (SAOE) Flexible film substrate- Much higher than 1μm High sensitivity Micrometer to meter-scales 0.5s- ML intensity expressed in luminance (cd-m2) Japan2018-Liu-Scalable Elasticoluminescent Strain S
40. Flexible MicroSupercapacitors capacity --------- Australia, China 2018-Zhao-Recent Development of Fabricating Fl
41. Іонтронний Фізіологічні сигнали та фізична активність Іонтронний Nafion Полімерний електрод 1 кПа 5 нФ/кПа Висока Від кількох паскалів до 50 кПа Підмілісекундний 10 000 Ємнісний США2018-Zhu-Imperceptible Epidermal-Iontronic Int
42. Capacitive (not listed in options) Pressure Carbon nanotubes Polydimethylsiloxane (PDMS) 0 Pa- 2.9 kPa..1 0-850 Pa-- Capacitance change China2019-Guo-Printed and Flexible Capacitive Press
43. Piezo-capacitive Pressure Composite Polylactic-co-glycolic acid (PLGA) and Polycaprolactone (PCL) Nanofibrous dielectric membrane 0 Pa 0.863 kPa^-1 in low pressure region (0-1.86 kPa) and 0.062 kPa^-1 in high pressure region (1.86-4.6 kPa) 0.863 kPa^-1 in low pressure region (0-1.86 kPa) and 0.062 kPa^-1 in high pressure region (1.86-4.6 kPa) 0-4.6 kPa 251 ms (average)- LCR meter, custom-built instrumentation for arterial pulse monitoring, commercially available pressure mapping platform Republic of Korea2019-Khalid-A highly sensitive biodegradable p
45. Самопоживна або енергетично автономна e-шкіра - Про датчики ємності посилань немає -------- Англія 2019-Núñez-Energy autonomous electronic skin
46. Soft capacitive pressure sensor Pressure Conductive polymer PEDOTPSS Ecoflex dielectric layer 0 kPa- 0.12 to 0.77 kPa-- 1000 cycles Spatial mapping pressure distributions USA2019-Shi-Screen‐Printed Soft Capacitive Sensor
48. Capacitive pressure Pressure MXene-coated cotton yarn Cellulose-based yarn Low pressure---- 10,000 cycles Electrochemical (CV, GCD, EIS) France2019-Uzun-Knittable and Washable Multifunction
51. Capacitive pressure sensor with fabric electrodes (Miniature, Wearable) Pressure Conductive nylon fabric Elastomer Ecoflex 0 kPa- 0.035 kPa1 0-16 kPa 0.8 s 9500 Capacitive sensing China2019-Wu-A facile method to prepare a wearable
53. Flexible, Thermal-based, Flow Sensor Array Temperature, Air flow Single-walled carbon nanotubes, SnO2 nanoparticles Polyethylene terephthalate (PET) film-- 0.97 0.62-C 0-44 C-- Solution-based process, screen-printing method, drop-casting method, FEM simulations Japan2019-Xu-Highly Precise Multifunctional Thermal
55. Capacitive (Microconformal graphene electrodes) Pressure Graphene PDMS (polydimethylsiloxane) 1 Pa- 3.19 kPa-1 (for high-performance capacitive pressure sensor)- 30 ms- Capacitance voltage measurement unit China2019-Yang-Flexible, Tunable, and Ultrasensitiv
56. Capacitive, Organic thin-film transistor Pressure Elastic ionic polyacrylamide hydrogel (EIPH) Indium-tin oxide (ITO) electrode 0.18 Pa- Capacitive sensor - 2.33 kPa.1 with capacitance sensitivity 103.8 nF-kPa, OTFT sensor - 17.95 kPa.1--- Photopolymerization, digital ultraviolet (UV) lithography China2019-Yin-Micropatterned elastic ionic polyacry
57. П'єзоелектричні наногенератори П'єзонапруга Посилання на ємнісні датчики 2,3 -------- Китай 2019-Yuan-Flexible electronic skins based on p
60. Capacitive (Elastic porous electrode) Pressure Elastic metallized sponge (nickel-plated polyurethane sponge) Dielectric film 0.2 g soybean- High sensitivity to low pressure- Millisecond response and recovery time- Capacitance detection circuit China2019-Zhang-Highly sensitive capacitive pressur
61. Capacitive, Textile-based, Matrix-free, Strain, Pressure Strain, Pressure Silver-coated nylon fibers, Cotton fibers, Polyurethane adhesive None 0.0397 kPa- High Below 0.85 kPa, between 0.85 and 35 kPa, above 35 kPa Between 110 and 230 ms Endurance testing up to 10,000 cycles Capacitance meter, Portable measuring circuit, Tensile testing machine China2019-Zhang-Textile‐Only Capacitive Sensors for
62. Capacitive pressure Pressure Nanofibrous membranes Nylon netting 0.13 kPa- 1.49 kPa.1 0.13 kPa - 110 kPa 48 ms 1000 Capacitance China2020-Chen-A highly sensitive and wearable pres
63. Flexible capacitive pressure sensor with matrix-addressed structure Pressure Capacitive plate and diaphragm 10 x 10 matrix-addressed structure with patterned layer of high Youngs modulus and low-modulus encapsulation layer- High resolution---- Capacitance changes China2020-Chen-Matrix-Addressed Flexible Capacitive
64. П'єзоелектричний Зміна напруги Про датчики ємності посилань немає -------- Китай 2020-Duan-Innovation Strategy Selection Facili
65. П'єзоелектричний прискорювальний, ємнісний прискорювальний, опірний деформаційний, волоконно-оптичний деформаційний. Вібраційний сигнал. П'єзоелектричний матеріал, ємнісний матеріал, опірний матеріал, волоконний матеріал. Не застосовується. 10 кПа. . Висока чутливість. . . . Контактний, безконтактний. Китай.2020-Feng-Research Progress of Mechanical Vibr
73. Ionic pressure Pressure Ionic gel Polycarbonate membrane 0.61 Pa 2 Pa 35.96 kPa-1 Less than 0.1 kPa 21 ms At least 200,000 cycles Capacitive sensing China2020-Su-Highly sensitive ionic pressure sensor
75. Capacitive pressure Pressure Single-walled carbon nanotubes (SWCNT), stretchable silver ink, encapsulation paste PET yarns and encapsulation paste-- Highly sensitive Full range 7 ms 20,000 Capacitance China2020-Vu-Highly elastic capacitive pressure sen
79. Capacitive pressure sensor Pressure Capacitive plate and diaphragm XH018 CMOS technology 300 mmHg 0.98 mmHg High-pressure sensitivity 300-1000 mmHg-- Capacitance to voltage converter and single slope analog to digital converter New Zealand2020-Zhang-A Capacitive Pressure Sensor Interf
80. Capacitive pressure (Textile-only) Pressure Conductive core-spun yarns Cotton cloth 4.5 kPa- 8.697 MPa.1 for pressures below 4.5 kPa, 1.275 MPa.1 for pressures between 4.5 and 14 kPa, and 0.53 MPa.1 for pressures above 14 kPa. Up to 130 kPa- 10,000 repeated compression cycles Capacitance China2020-Zhang-Textile-Only Capacitive Sensors wit
81. Capacitive Pressure Electrospun polyimide nanofiber membrane- 3.5 Pa- 2.204 kPa1 in range 3.5 Pa-4.1 Pa and 0.721 kPa1 at pressure 4.1-13.9 Pa 0-1.388 MPa- 10,000 Capacitive China2020-Zhu-A flexible capacitive pressure sensor
82. Differential Pressure Carbon nanotubes Thermoplastic polyurethane 17 kPa- 0.12-0.549 kPa-1 17-240 kPa- 500 Piezoresistive China2020-Zhuang-Preparation and laser sintering of
83. Miniature Blood pressure Polydimethylsiloxane (PDMS) Indium-tin-oxide (ITO) coated polyethylene terephthalate (PET) electrodes 1 Pa 0.0715 relative difference in capacitance 1.7 E3 kPa1 in 1st pressure region, 1.4 E3 kPa1 in 2nd pressure region, 0.068 kPa1 in 3rd pressure region, 0.095 kPa1 in 4th pressure region, and 2.92 E4 mmHg1 in blood pressure range from 55 mmHg to 220 mmHg 1 Pa to 100 kPa 110 ms- Capacitive transduction mechanism India2021-Bijender-Flexible and wearable capacitive
86. Capacitive (based on the sensing mechanism) Pressure Porous Eco.ex with tilted air gaps None specified 0.1 kPa- 24.5 . 10.3 kPa.1 at 100 kPa 0.1-1 MPa Fast 5000 loading/unloading cycles at 100 kPa Capacitive Korea2021-Ko-Carbonized Cotton Fabric-Based Flexibl
87. Capacitive pressure, Conductive polymer-based resistive temperature Pressure, Temperature Elastomeric dielectric layer, Carbon nanotube (CNT), Poly(3,4-ethylenedioxythiophene) poly(styrene sulfonate) (PEDOTPSS) Polyvinyl chloride (PVC) 10 kPa- 0.64-.C (for CNT-PEDOTPSS composite temperature sensor), not specified (for capacitive pressure sensor) Up to 160 kPa 2.5 s (for CNT-PEDOTPSS composite temperature sensor), not specified (for capacitive pressure sensor) 7 cycles (for CNT-PEDOTPSS composite temperature sensor) Capacitive, Resistive UK2021-Kumaresan-Multifunctional Electronic Skin
88. Capacitive (Dual-layer dielectric) Pressure Polyvinylidene difluoride (PVDF) fiber layer and PDMS microcylinder array 6x6 array 0.065 Pa- 0.6 kPa-1, 0.07 kPa-1, 0.51 kPa-1, 7-15 kPa, and 0.03 kPa-1, 15-50 kPa 0-50 kPa 25 ms Up to 10,000 load-unload cycles and up to 5000 bending-unbending cycles Capacitance changes Taiwan2021-Lin-A wearable and highly sensitive capac
89. Capacitive pressure and bending sensors (High dielectric constant) Pressure and bending Polyvinylidene fluoride-trifluoroethylene-chlorofluoroethylene (PVDF-TrFE-CFE) Solvent casting 0.03 kPa- 0.03 kPa-1- Small delay observed in recovering time 50 cycles in compression tests Capacitive sensing Spain2021-Pereira-High dielectric constant poly(vin
90. Capacitive pressure sensor with porous CCTO-PDMS membrane Force/pressure Calcium copper titanate (CCTO) particles and polydimethylsiloxane (PDMS) elastomer PDMS-- Ultra-sensitive--- Capacitance change detection circuit based on resonance mechanism Hong Kong2021-Tang-Ultra-sensitive wide-range small capacitive pressure sensor based on porous
91. Strain sensors, pressure sensors, nanogenerators, supercapacitors, batteries, transistors, conductors, transparent electrodes, photodetectors, chemical sensors- Electrospun nano fibers------- Electrospinning Japan2021-Wang-Electrospun nanofiber-based soft ele
92. Flexible Differential Pressure Sensor Pressure Silver Ag nanowire layer and composite layer carbon black nanoparticles and polydimethylsiloxane CPDMS- 0 kPa- 51.7 kPa-1 Ultrawide pressure range-- Scratch coating process followed by dip-coating and vacuum adsorption China2021-Wang-Hierarchical design of waterproof, h
93. Capacitive (with options for Differential and Acceleration measurement) Force and acceleration Polyimide, Copper, Polydimethylsiloxane (PDMS) Elastomeric substrate (PDMS)- 5.22 nN Tunable, up to 33 times sensitivity--- Capacitive readout chip MS3110, 24 bit ADC chip AD7175-2, LabVIEW software China2021-Ye-Tunable seesaw-like 3D capacitive sens
94. Capacitive (All-fabric, Ultrathin) Pressure Micropatterned nano-fiber dielectric layer Silver nanowire-based electrodes 0.5 Pa- 8.31 kPa 0.5 Pa to 80 kPa 27.3 ms 10,000 cycles at 1 kPa Capacitive sensing China2021-Yu-All-Fabric Ultrathin Capacitive Sensor
95. Capacitance pressure sensor with porous dielectric materials (recommended for vital signs monitoring) Pressure Porous dielectric materials Parallel plate capacitor-- High sensitivity due to simultaneous modification of d values under external stimuli Ample operating range-- Electrical transduction-based pressure sensors, including resistance, capacitance, piezoelectric, and triboelectric pressure sensors Korea2022-Chittibabu-Porous dielectric materials ba
96. Гнучкі керамічні волокна - Про датчики ємності посилань немає -------- Китай 2022-Jia-Flexible Ceramic Fibers_ Recent Devel
97. Ємнісний Тиск Цинковий оксид Полідиметилсилоксан (PDMS) 0 кПа 4.7 кПа.1 49 кПа.1 0-200 кПа-- Зміна ємності Велика Британія2022-Kumaresan-Soft Capacitive Pressure Sensor
100. Діелектричні композити для зберігання та перетворення енергії - Про датчики ємності посилань немає -------- Китай 2022-Wu-Polymer‐_Ceramic‐based Dielectric Comp
102. Capacitive (Flexible) Pressure BaTiO-doped polyvinylidene fluoride electrospinning fibers Polydimethylsiloxane (PDMS) microcylindrical structures 0.11 Pa- 5.0 kPa 0.5-10 kPa 25-50 ms Load-unload more than 10,000 times and bent-unbent cycle life more than 5,000 times Capacitive Taiwan2022-Yang-Highly sensitive and wearable capaci
105. Flexible capacitive pressure sensor with CNT-doped porous electrode and ultrathin PVDF dielectric layer Pressure Carbon nanotube (CNT)-doped porous electrode and ultrathin porous polyvinylidene difluoride (PVDF) dielectric layer- 0.1 kPa 0.23 kPa.1 within 10-30 kPa 1.033 kPa.1 within 0-1 kPa, 0.72 kPa.1 within 1-5 kPa, 0.34 kPa.1 within 5-10 kPa, and 0.23 kPa.1 within 10-30 kPa 0-30 kPa-- Capacitive China2023-Zhong-Porous conductive electrode
Тип датчикаПублікаційДіаграма розподілу
Огляди

Ємнісні датчики низького тиску

Ємнісні датчики торкання (touch, triboelectric)

Ємнісні датчики наближення (proximity)

Диференціальні ємнісні датчики тиску

Ємнісні датчики абсолютного тиску

Високотемпературні ємнісні датчики

Ємнісні датчики вологості (humidity)

Інші пристрої

14

1

1

4

21

15

2

4

57