№ |
Тип датчика (диференціальні, абсолютного тиску, високотемпературні, герметичні, мініатюрні, низького тиску) |
Контрольована величина |
Активний матеріал |
Матриця, підкладка або електроди |
Мінімальний тиск, Па |
Роздільна здатність, Па |
Чутливість, Па-1 |
Робочий діапазон, Па |
Швидкість реакції, мс |
Кількість циклів |
Методи вимірювання |
Країна авторів |
Стаття |
1. | Торкання носимий пасивний ємнісний манометричний Галузі немає | Ємність
| Епітаксійний шар p-Si
| Кремній
| 10^4
| -
| -
| (1-7)*10^4
| < 1
| -
| Інтерфейсна система CAPRICE
| Бельгія | 1990-Puers-A capacitive pressure sensor with l |
2. | Абсолютного тиску, торкання | Ємність
| SiO2
| Si
| 0.6895
| -
| 0.086 pF/psi
| 0.6895 - 6.895*10^6
| -
| -
| -
| США
| 1999-Ko-Touch mode capacitive pressure sensors |
3. | Абсолютного тиску, торкання
| Ємність
| Si
| Si
| 137900
| 5%
| -
| 137900-689500 (20-100psi)
| 6000
| -
| PC програма ABAQUS
| США
| 1999-Meng-Modeling ___ for touch mode capacitive sensors |
4. | Абсолютного тиску, торкання
| Ємність
| Полі-Si
| Si
| 55160
| -
| 5.0–25.0 Hz/psi
| 55160-413700 (8–60 psi)
| -
| -
| Конвертер ємності в струм
| США
| 2000-Guo-A monolithically integrated surface m |
5. | Низького тиску
| Ємність
| Polydimethylsiloxane (PDMS, Sylgard 184)
| Au, Polyimide (PI, Durimide 7320)
| - | - | 10-14 пФ / (пФ мм рт. ст.)
| 0 до 20 мм рт. ст.
| - | - | LCR meter (accuracy 0.05%, 6 digits, resolution 0.01fF-9.99999F)
| Тайвань
| 2007-Chiang-An implantable capacitive pressure |
6. | Низького тиску, деформації, торкання
| Єсність
| Діелектричний шар PDMS (polydimethylsiloxane, Sylgard 184, Dow Corning)
| Золоті електроди
| - | - | ~ 13 fF/100 kPa
| 0-100 кПа
| - | - | Аналогове визначенння ємності на EVAL-AD7152
| Англія
| 2009-Cotton-A Multifunctional Capacitive Senso |
7. | Низького тиску, торкання
| Ємність
| Капрон поліімід, нержавіюча сталь, титан, кремній, кераміка, поліімід-2610
| n-SiO2
| - | 0.012 Pa for parabolic shape sensor
| 7.7 pF/KPa
| 0-35 кПа
| - | - | LCR meter (Agilent 4284A)
| США
| 2009-Han-Smooth Contact Capacitive Pressure Se |
8. | Матричний датчик низького тиску
| Ємність
| PDMS (Полідиметилсилоксан)
| 25 мкм ПЕТ плівка з 150 нм алюмінієвими смугами, n-doped SiO2
| - | 3
| 0.55 kPa-1,
| <~10 kPa
| 1-10
| - | Agilent E4980A Precision LCR meter
| США | 2010-Mannsfeld-Highly sensitive flexible press |
9. | Низького тиску
| тиск, деформація
| вуглецеві нанотрубки
| полідиметилсилоксан
| 0.1
| 0.1
| 0.2
| від 0 до 50 кПа
| - | 12 500
| Agilent E498A precision LCR meter
| США
| 2011-Lipomi-Skin-like pressure and strain sens |
10. | Трібоелектричний наногенератор (TENG) для самопоживного сенсора
| вібрація
| - | - | - | - | - | - | - | - | - | США, Китай
| 2013-Hu-Triboelectric nanogenerator built on s |
11. | Механооптичний датчик низького тиску
| Інтенсивність світла, що досягає детекторів
| випромінювачі (TSKS5400S, 950 нм, Vishay, Malvern) і детектори (TEKT5400S, 950 nm, Vishay)
| PDMS як хвилевід і як зона сприйняття, із вбудованими випромінювачами і детекторами
| - | - | 1.93 kPa−1
| 0-100 kPa
| - | - | вихідні сигнали датчика контролювали осцилографом Agilent Technologies MSO7014A і аналізували за допомогою Matlab
| Italy, UK
| 2013-Levi-Soft, transparent, electronic skin f |
12. | Мікрофабриковані ємнісні датчики низького тиску
| - | діелектрична мембрана з гнучкого пінополіуретану
| електроди з тонкої золотої плівки
| - | - | - | 1 kPa - 100 kPa
| - | - | - | Switzerland
| 2013-Vandeparre-Extremely robust and conformab |
13. | Кераміко-полімерні ємнісні датчики низького тиску
| Ємність
| Composite: dielectric material PZT/BaTiO3 + polymer
| PVDF/PVP
| - | - | - | 0 - 350 kPa
| - | - | Вимірювання ємності на 200 кГц за допомогою вимірювача BK Precision 889B LCR
| США
| 2013-Weadon-Ceramic–polymer capacitive sensors |
14. | низького тиску Strain Sensors within Highly Stretchable Elastomers
| П'єзоопір
| carbon conductive grease
| A Ecoflex
| 0.1
| - | - | 0.1 to 2000 Pa
| 2 s
| 1000 cycles
| The sensors are mounted on a mechanical tester (Instron 5544A, Instron)
| USA
| 2014-Muth-Embedded 3D printing of strain senso |
15. | низького тиску Ionic skin
| capacity
| A dielectric layer was sandwiched between two layers of the hydrogel acrylamide, resulting in a capacitive sensor
| - | - | - | - | 0-2.5 Kpa
| - | 1000 cycles
| capacitance meter (Agilent, E4980A)
| Korea, USA
| 2014-Sun-Ionic skin |
16. | Повністю еластомерна матриця ємнісних датчиків низького тиску
| Pressure
| conductive PDMS (CPDMS, electrodes, and interconnects)
| insulative elastomeric (plates and dielectrics)
| Less than 50 kPa
| - | 0.2 +/- 0.02 (DC-C0)
| 50 kPa-1.2 MPa
| 10 с
| - | LCR meter (Model-6375, Microtest) interfaced to a computer with a data cable (RS-232)
| Корея
| 2014-Woo-A thin all-elastomeric capacitive pre |
17. | Різні низькотемпературні свіпспікаємі керамічні датчики (LTCC)
| Sensors: Piezoelectric, Piezoresistive, Capacitance; Accelerometers: Uniaxial, Triaxial, in SMD package; Fluid flow sensors: Turbine, Thermo-resistive; Force sensor: cantilever, ultrasonic-waves-based
| Посилання на ємнісні датчики низького тиску зі структурою полімер/наповнювач відсутні, є LTCC датчики
| - | - | - | - | - | - | - | - | Poland, Switzerland, Slovenia, Ilmenau
| 2015-Jurków-Overview on low temperature co-fir |
18. | Ultrasensitive Textile Pressure Sensor низького тиску
| ємність
| PDMS-coated conductive fibers
| elastic rubber and Ag nanoparticle composites
| 0.21 kPa
| - | 0.21 kPa −1
| under 2 kPa
| ≈40 ms
| > 10 000 cycles
| - | Корея, США
| 2015-Lee-Conductive fiber-based ultrasensitive |
19. | торкання Flexible Pressure Sensor
| П'єзонапруга
| polydimethylsiloxane (PDMS) thin fi lm
| - | - | - | 50.17 kPa −1
| 0–70 Pa
| 20 ms
| 10 000
| The current differences and the I-V characteristics for the pressure sensor were recorded by the Parstat 2273 electrochemical system (Princeton Applied Research)
| Australia
| 2015-Su-Mimosa-inspired design of a flexible p |
20. | торкання, Multimodal All Graphene Electronic Skin functional sensors were included in this matrix: humidity, thermal, and pressure sensors
| П'єзоопір and capacity
| CVD-graphene
| polydimethylsiloxane (PDMS) substrate
| - | - | 0.002 kPa −1
| 0 to 400 kPa
| <0.2 s
| over 2000 cycles
| a HP4284A high-precision LCR meter, Agilent 4980A precision LCR meter with a mark-10 force gauge M5-05
| South Korea, China
| 2016-Ho-Stretchable and Multimodal All Graphen |
21. | низького тиску
| ємність
| - | polydimethylsiloxane (PDMS)
| - | - | 0.63 kPa−1
| under 1 kPa
| in the milliseconds range
| 10 000 cycles
| at a frequency of 300 kHz with a 1 V AC signal, using an Agilent E4980A Precision LCR Meter
| Saudi Arabia, Korea
| 2016-Kang-Highly Sensitive Pressure Sensor Bas |
22. | датчик торкання, Flexible and Wearable Pressure Sensor
| capacity
| 3-D microporous dielectric layer with serially stacked springs of Ecoflex bridge
| microporous Ecoflex
| 0.1 Pa
| - | 0.601 kPa-1
| 0.1 Pa - 130 kPa
| - | 1000 repeated
| The capacitance of each sensor was measured with a precision LCR meter (E4980A, Agilent, USA) at a frequency of 400 kHz
| South Korea, USA
| 2016-Kwon-Highly Sensitive, Flexible, and Wear |
23. | торкання, Flexible Capacitive Tactile Sensor
| capacity
| - | micropatterned PDMS film
| 0 N
| - | 0.815 kPa −1
| 0 to 50 N
| ≈38 ms
| - | Capacitance Meter (Agilent E4981A)
| Singapore
| 2016-Li-Flexible Capacitive Tactile Sensor Bas |
24. | датчик низького тиску і торкання highly sensitive capacitive pressure sensor based on conductive fibers with a microporous dielectric for wearable electronics
| capacity
| silver nanoparticles (AgNPs) in poly(styrene-block-butadiene-styrene) (SBS) polymer on the surface of Twaron fibers
| - | - | - | 0.278 kPa1
| 0-50 kPa
| 340 ms
| 10 000 cycles
| A digital oscilloscope TDS5052B Digital Phosphor Oscilloscope, Tektronix
| Korea
| 2017-Chhetry-A flexible and highly sensitive c |
25. | Торкання Низького тиску носимий пасивний ємнісний манометричний побутовий медичний | Miniature, Hermetic | Pressure | Ionic gel | Polyethylene terephthalate (PET) | 30 Pa | - | 41 kPa-1 at pressures below 400 Pa, 13 kPa-1 over the range between 0.5 and 5 kPa, 5.2 kPa-1 at 15 kPa, and approximately 2.1 kPa-1 at 50 kPa | Up to 50 kPa | Fast | Consistent device operation over multiple pressure cycles | Capacitance changes upon pressure application | Korea | 2017-Cho-Micropatterned Pyramidal Ionic Gels f |
26. | Capacitive, Torsion, Strain, Touch, Stretchable | Torsion, Strain, Touch | Liquid metal | Elastomeric fibers | - | - | - | Torsion up to 800 rad m-1, strain up to 2.9, touch detection | Rapid response to touch | Further research needed | Capacitive sensing | USA | 2017-Cooper-Stretchable Capacitive Sensors of |
27. | Resistive, Piezoelectric, Triboelectric, Capacitive низького тиску | Physical stimuli (pressure, temperature, chemical, etc.) | Conductive nanomaterials (0D, 1D, 2D), conducting polymers, inorganic oxides, hybrid materials | Elastomers (polyethylene terephthalate, polyethylene naphthalate, polydimethoxysilane, polyurethane, latex, etc.) | - | - | Dependent on the type of sensor and nanomaterial used | Dependent on the type of sensor and nanomaterial used | Slow for resistive sensors, faster for other transduction methods | - | Percolation mechanisms, device fabrication methods, macroscale and microscale patterning, substrate modification, ink formation and delivery methods | Australia | 2017-Jason-Resistive electronic skin |
28. | Низького тиску, Highly sensitive flexible piezocapacitive (PC) pressure sensor
| - | CaCu3Ti4O12 (CCTO) nanocrystals
| polydimethylsiloxane (PDMS)
| - | - | 1.66 kPa-1
| 0-640 Pa
| 33 ms
| >3000
| Dielectric properties are measured on Agilent 4294A Precision Impedance Analyze. The capacitance change respect to the loading pressure is tested via the AD7746 capacitance-todigital converter (National Instruments) board mounted on a home-made setup. Mechanical properties including quasi-static and dynamic compression were carried out on Zwick/Roell Z010 with a load cell of 1KN
| China
| 2017-Mu-Enhanced Piezocapacitive Effect in CaC |
29. | Датчик торкання
| - | piezoelectric PZT based sensors
| flexible substrates
| - | - | - | - | Touch signals - 0.05 seconds, bending signals - 0.2 seconds
| - | The touch force is measured to be approximately 0.25 N using a force meter (Imada DPS-110)
| Republic of Korea
| 2017-Noh-Self-powered flexible touch sensors b |
30. | Текстильний низького тиску? A Flexible Capacitive Pressure Sensor for Wearable Respiration Monitoring System
| Capacity
| Silver nanowire (AgNWs) and Carbon fibers (CFs) thin films
| Polydimethylsiloxane (PDMS)
| - | 3pF
| 0.161 kPa-1 for low pressure regime (< 10 kPa)
| < 200 kPa
| 3 sec
| over 6,000 cycles
| a four-point probe meter (RC2175, EDTM)
| Korea
| 2017-Park-A Flexible Capacitive Pressure Senso |
31. | датчик низького тиску? composed of top and bottom plates, capacitive pressure sensor, 0 Pa and 8.88 kPa, parallel-plate capacitive sensor with a corrugated surface
| capacity
| Printed polymer sensor the sensor surfaces are coated with 10 nm thick Cr and 115 nm thick Au, commercially available polymer materia
| - | - | - | 0.14 pF / kPa
| 0 Pa and 8880 Pa or The maximum sensitivity is obtained as 0.14 pF/kPa in the 0.71 kPa to 2.13 kPa pressure range.
| - | - | sensor is connected to GWINSTEK-LCR 814 LCR meter for measuring the capacitance change
| Turkey
| 2017-Tuna-3D printed capacitive pressure senso |
32. | Диференційний, Абсолютний тиск, Високотемпературний, Герметичний, Мініатюрний, Низький тиск, Дотик. | Температура та вологість. | Графен. | Полідиметилсилоксан (PDMS) та каптон (CAB). | - | - | 1.343 °C для температурного датчика, 0.19 pF- для вологості. | - | - | - | Електричні вимірювання. | Китай. | 2017-Zhao-Simultaneous High Sensitivity Sensin |
33. | низького тиску Miniature
| Robot motion
| Soft electronics
| Soft body frame - SMDs, printed epoxies (Ag epoxy and epoxy), printed multilayer stretchable interconnects (Ag), and a soft foundation [poly(dimethylsiloxane) (PDMS)]
| - | - | - | - | - | - | Wireless inter-skin communication
| Republic of Korea
| 2018-Byun-Electronic skins for soft, compact, reversible assembly |
34. | Touch | Pressure, temperature, humidity | Graphene | Flexible and stretchable | - | High | High | - | - | - | Piezoresistive, capacitive, piezoelectric | China | 2018-Chen-Recent Developments in Graphene-Base |
35. | низького тиску Capacitive Pressure Sensor
| ємність
| thin conductive layer of graphene
| PDMS-substrate
| 3.3 Pa
| - | 0.33 kPa-1
| - | <20 ms
| 1000 cycles
| Ємність вимірювали вимірювачем Agilent E4980A LCR на частоті 1 кГц і 300 кГц при напрузі змінного струму 1 В. Механічний тиск забезпечувався та записувався за допомогою контролера руху Zolix SC300-3A та датчика сили Mark 10.
| China
| 2018-He-Capacitive Pressure Sensor with High S |
36. | низького тиску Highly Sensitive Capacitive Pressure
| capacity
| one-dimensional silver nanowires (AgNWs cured PDMS film
| healable polyurethane (HPU)
| 10 Pa
| - | 1.9 kPa-1
| <3 kPa
| <100 ms
| 1000 cycles
| Dielectric properties and alternating conductivity were measured by applying an Agilent 4294A impedance analyzer.
| China
| 2018-Liu-An Omni-Healable and Highly Sensitive |
37. | низького тиску flexible capacitive pressure sensor
| ємність
| coated with silver nanowires (AgNWs
| polydimethylsiloxane (PDMS) substrate with a micro-arrayed PDMS dielectric layer
| - | - | 2.04 kPa-1
| 0–2000 Pa
| - | - | An Agilent 4280A LCR meter was introduced to get the capacitance. The performance of the pressure sensor was detected using a ZHIQU pressure testing machine with a z-axis motor stage, which can be applied at a
| China
| 2018-Ma-A highly sensitive and flexible capaci |
38. | Touch | Pressure | Graphene | Air gap and spacers | 6.55 kPa | - | 6.55 kPa | - | 70 ms | 500 | Capacitive | Korea | 2018-Pyo-Flexible, Transparent, Sensitive, and |
39. | Торкання носимий пасивний ємнісний манометричний медичний | Зовнішній фізичний тиск | Ультратонкі срібні нанопровідники | Мікроструктури з малою щільністю та високим відношенням висоти до діаметра, відтворені з листа лотосу | 0,8 Па | - | 1,194 кПа-1 | - | 36 мс | > 100 000 | Сканування ємності | Китай | 2018-Wan-A Highly Sensitive Flexible Capacitiv |
40. | Ємнісний низького тиску (using natural plant materials as dielectric layer) | Тиск | Природні рослинні матеріали (пелюстки, листя троянд, листя Acacia Mill) | - | 0,6 Па | 1,54 кПа | Висока | 0,6 Па - 115 кПа | - | 5000 | Зміни ємності, виміряні за допомогою вимірювача LCR | Китай | 2018-Wan-Natural Plant Materials as Dielectric |
41. | Низького тиску
| Різні
| Посилання на ємнісні датчики 25, 26
| - | - | - | - | - | - | - | - | Китай
| 2018-Xu-Recent Developments for Flexible Press |
42. | низького тиску Breathable and Screen-Printed Pressure Sensor
| ємність
| nanofiber membranes
| poly(vinylidene fluoride and thermoplastic polyurethane NM
| - | - | 4.2 kPa−1
| 0–400 Pa
| <26 ms
| 10 000 cycles
| Capacitance - Keysight E4980AL Precision LCR meter at 1 kHz frequency, 1 V ac. Pressure - a mechanical performance testing system (Micro Tester, 5848, Instron).
| China, USA
| 2018-Yang-A Breathable and Screen-Printed Pres |
43. | Торкання Низького тиску носимий пасивний ємнісний манометричний Галузі немає | Тиск | Полімерний білайнер PMMA-PAA | Поліетилен терефталат (PET) | 10 кПа | - | 56.15 кПа.1 | - | Менше 20 мс | Більше 2000 циклів | П'єзорезистивність, ємність, п'єзоелектричність | Китай | 2018-Yin-Solution-Processed Bilayer Dielectric |
44. | Touch | Pressure and strain | Fluorocarbon elastomer and fluorine-rich ionic liquid | Gel-like aquatic stretchable material | - | - | - | - | - | - | Conductive atomic force microscopy, impedance meter, Instron 5942 instrument, transmission data recording, touch panel, conformable pressure sensor, infrared signal transmission and opto-electronic communication system, soft PCB | China | 2019-Cao-Self-healing electronic skins for aqu |
45. | Touch | Pressure, temperature, gas, analytes, biomarkers, physiological parameters | Graphene, photovoltaics, thermoelectric, piezoelectric, triboelectric | Flexible, bendable, stretchable substrates | - | - | - | - | - | - | Sensing parameters such as contact force, temperature, pain, and slip | UK | 2019-Dahiya-E-Skin_ From Humanoids to Humans [ |
46. | Низького тиску
| П'єзоопір
| Про датчики ємності посилань немає
| - | - | - | - | - | - | - | - | США
| 2019-Ding-Recent advances in flexible and wear |
47. | Торкання носимий пасивний ємнісний манометричний Галузі немає | Capacitive, Porous | Pressure | Polydimethylsiloxane (PDMS) | Aluminum (Al) | 0.0115 kPa | - | 0.813 kPa1 (for porous PDMS dielectric layer with 40 wt sacricial solvent), 1.43 kPa1 (with microstructures on surface porous PDMS dielectric layer) | - | 70 ms | 5000 loading-unloading cycles | Capacitance change ratio | Korea | 2019-Kim-Fabrication of highly sensitive capac |
48. | Торкання носимий пасивний ємнісний манометричний побутовий | Ємність
| Polydimethylsiloxane (PDMS)
| PET/Au
| - | 1
| 420
| 0-22 000
| -
| 1000
| Analyzer B1500A, Agilent
| Китай
| 2019-Luo-Flexible Capacitive Pressure Sensor E |
49. | Low pressure | Pressure | Composite foam materials filled with conductive carbon black particles | PDMS (Polydimethylsiloxane) | 0.2 kPa | - | 35.1 kPa-1 in 0-0.2 kPa pressure range and 6.6 kPa-1 in 0.2-1.5kPa range | - | Fast | Stable pressure-capacitance changes and sensitivities after hundreds of cycles | Capacitance measurement | France | 2019-Pruvost-Polymeric foams for flexible and |
50. | Тканинні датчики деформації низького тиску
| резистивний, ємнісний, п’єзоелектричний, трибоелектричний, оптичний
| Посилання на ємнісні датчики 29-32, 83,84
| - | - | - | - | - | - | - | - | Австралія
| 2019-Seyedin-Textile strain sensors_ a review |
51. | Низького тиску
| П'єзоопір
| graphene oxide (EGO)/PDMS submicrobeads
| Si wafer
| - | - | 300
| 248–500 000
| 83
| - | Keithley2604, Tektronix Inc.
| Australia
| 2019-Shi-A versatile PDMS submicrobead_graphen |
52. | High-temperature, Hermetic, Miniature, Low pressure, Touch | Thermal energy | Poly(3,4-ethylenedioxythiophene)-tosylate, carbon nanotubes, transition metal dichalcogenides | Soft biocompatible substrate | - | - | - | - | - | - | Printing techniques | Japan | 2019-Tian-Body Heat Powers Future Electronic S |
53. | High-temperature, Hermetic, Miniature, Touch | - | Liquid metal alloys of gallium | - | - | - | - | - | - | - | - | Australia | 2019-Yang-Electronic Skins Based on Liquid Metals |
54. | Низького тиску
| Ємність
| Polydimethylsiloxane(PDMS)
| In-Snoxide(ITO) coated with poly(ethyleneterephthalate) (PET)
| 5
| - | 0.0046
| 0-30000
| 100
| - | LCR meter (HIOKI 3532−50 LCR Hi-TESTER)
| Індія
| 2020-Bijender-One-Rupee Ultrasensitive Wearabl |
55. | Низького тиску
| Опір
| Graphene nanoplatelets (GNPs), multi-walled carbonnanotubes (MWCNT)
| PDMS
| 2.2*10^4
| - | 164
| 2.2-7.5*10^4
| 100
| 1000
| Digital multimeter (Agilent 34410A)
| Китай
| 2020-Chen-High-sensitivity, fast-response flex |
56. | Низького тиску
| Ємність
| Carbon nanotube composite (PEMC)
| Провідні промислові електроди
| 1*10^3
| - | 1.72*10^3
| 0−10*10^3
| 100
| 10000
| - | Південна Корея
| 2020-Choi-Synergetic Effect of Porous Elastome |
57. | Низького тиску
| Резистивні, ємнісні, п’єзоелектричні, трибоелектричні
| Посилання на ємнісні датчики 15,17,26,114-125,211 таблиця 2
| - | - | - | - | - | - | - | - | Китай
| 2020-Li-Physical sensors for skin-inspired electronics |
58. | Capacitive (Touch) | Tiny pressure | PVDF-TrFE | Interlocked asymmetric-nanocone arrays | 0.3 Pa | - | 6.583 kPa | Low pressure region 0-100 Pa | 48-36 ms | 10,000 cycles | Capacitance | China | 2020-Niu-Highly Morphology-Controllable and Hi |
59. | Друковані ємнісні сенсори низького тиску
| Ємність
| Всі посилання
| - | - | - | - | - | - | - | - | Іспанія
| 2020-Rivadeneyra-Recent Advances in Printed Ca |
60. | Capacitive, Resistive, Piezoelectric, Triboelectric | Pressure | Microengineered active layer | - | 1 Pa | - | Varies based on sensor type and microengineering design | Varies based on sensor type and microengineering design | Less than 9.9 ms for some sensors | Stable performance over 30,000 tested cycles for some sensors | Mechanical deformation sensor component | USA | 2020-Ruth-Microengineering Pressure Sensor Act |
61. | Низького тиску
| Не вказана
| Посилання на ємнісні датчики 10, 26, 49, 50
| - | - | - | - | - | - | - | - | США, Південна Корея
| 2020-Shih-Electronic skins and machine learning for intelligent soft robots |
62. | Низького тиску
| Ємність
| polydimethylsiloxane (PDMS)-Аu
| polyvinylidene fluoride (PVDF)
| 0,7
| -
| 0-130
| -
| 25
| 100000
| LCR digital bridge tester (Gwinstek, LCR-6002)
| Китай
| 2020-Xiong-A flexible, ultra-highly sensitive |
63. | Capacitive touch | Pressure | Thermoplastic polyurethane (TPU) nanofibers wrapped with electrically conductive materials Ag nanowires (AgNWs) | 3D network dielectric layer | 0.9 Pa | - | 1.21 kPa-1 | - | 100 ms | 10,000 cycles | Capacitive sensing | China | 2020-Zhao-3D Dielectric Layer Enabled Highly S |
64. | Тактильні (низького та абсолютного тиску) та температурні на органічних транзисторах
| різні
| Посилання на ємнісні датчики 46-48
| - | - | - | - | - | - | - | - | Китай
| 2020-Zhu-Tactile and temperature sensors based |
65. | Низького тиску носимий пасивний ємнісний манометричний Галузі немає | Презентація | - | - | - | - | - | - | - | - | - | - | - | 2020-Шимко_Презентацiя_Hi_epsilon_and_flexible capacitive pressure sensor |
66. | Друковані датчики низького тиску, температури, вологості, світла
| Різні
| Посилання на ємнісні датчики 174
| - | - | - | - | - | - | - | - | Данія
| 2021-Abdolmaleki-Droplet-Based Techniques for |
67. | Touch | Pressure | Elastomeric foam-based dielectric layer blend PDMS and BaTiO3 and PEDOT PSS and AgNWs composite based electrodes | Porous PDMS | 0 kPa | - | 0.918 kPa-1 | 0-20 kPa | - | 120 | Capacitive transduction | Austria | 2021-Karipoth-Graphite-Based Bioinspired Piezo |
68. | Торкання носимий пасивний ємнісний манометричний медичний | Miniature | Pressure | Polydimethylsiloxane (PDMS) | Porous structures with cone-shaped patterns | - | - | 4.99 kPa-1 | - | 16 ms | 5000 | Capacitance variation | Republic of Korea | 2021-Kim-Simple fabrication of highly sensitiv |
69. | Гнучкі ємнісні датчики низького тиску
| Ємність
| Посилання на ємнісні датчики 40-52, таблиця 1
| - | - | - | - | - | - | - | - | Китай
| 2021-Li-Research progress of flexible capacitive pressure sensor |
70. | Porous PDMS-based capacitive pressure sensors with fabric-based conductive electrodes (options: Miniature, Touch, High-temperature, Hermetic, Absolute pressure, Differential, Low pressure) | Pressure | Porous polydimethylsiloxane (PDMS) | Fabric-based conductive electrodes | 50 Pa | - | Highest sensitivity over wide pressure sensing range in low-pressure ranges (50 Pa - 0.3 kPa) | 0-1000 kPa | - | 100 cycles | Capacitive pressure sensing | Japan | 2021-Masihi-Highly Sensitive Porous PDMS-Based |
71. | Торкання Низького тиску Середнього тиску носимий пасивний ємнісний манометричний побутовий промисловий автомобільний аерокосмічний медичний | Pressure | Graphene-based materials, branched-CNTs and GNPs, graphene oxide, elastomers-foam, PDMS, porous PDMS, carbon black-PDMS-PET, wrinkled dielectrics, micro-pyramids and pillars, ionic gel-pyramids, PHB-PHV CNT-PU, fluidic-ionic liquid, fiber dielectrics, and printed dielectrics. | Various materials including Ag, Cu, AgNW, ITO, PET, Ti-Au, Pt, Au, Ni-Ti, Al, and AgNP-SBS. | 0.01 kPa | Depends on the sensor, ranging from 0.0016 kPa to 35 kPa. | Depends on the sensor, ranging from 0.0019 to 8.25 fF/kPa. | Depends on the sensor, ranging from 0.01 kPa to 240-1000 kPa. | Depends on the sensor, ranging from 0.03 ms to 578 ms. | . | Capacitive pressure sensors that detect capacitance change upon pressure application. | China. | 2021-Mishra-Recent Progress on Flexible Capaci |
72. | Тактильні датчики низького тиску
| п'єзорезистивні, п'єзоємні, п'єзоелектричні та трибоелектричні
| Посилання на п'єзоємнісні датчики 78-85, таблиця 2
| - | - | - | - | - | - | - | - | Корея
| 2021-Nguyen-Recent Development of Flexible Tac |
73. | Низького тиску
| Ємність
| Весь огляд
| - | - | - | - | - | - | - | - | Китай
| 2021-Qin-Flexible and Stretchable Capacitive Sensors |
74. | Низького тиску
| Різні
| Посилання на ємнісні датчики 43-58, таблиця 2
| - | - | - | - | - | - | - | - | Китай
| 2021-Wang-Research progress of flexible wearab |
75. | Низького тиску
| Ємність
| PVA/KOH
| PET-In-Sn-O film
| 10
| 10^-3
| 2.083*10^4
| 0-5*10^3
| 50
| 1600
| Analyzer WK6500B,Wayne Kerr
| China
| 2021-Yang-A flexible highly sensitive capaciti |
76. | Piezoresistive, Capacitive, Piezoelectric, Triboelectric | Physical interaction with environment | Conducting or semiconducting materials, carbon-based materials, dielectric polymers, piezoelectric materials, triboelectric materials | Elastic polymers, thermoplastics, thermosetting elastomers, cellulose | - | Depends on printing method and materials used | Depends on materials used | - | - | - | Piezoresistive sensing, capacitive sensing, piezoelectric sensing, triboelectric sensing | Singapore | 2021-Zhou-Three-dimensional printing of tactil |
77. | Трибоелектричний наногенератор
| Опір
| Про датчики ємності посилань немає
| - | - | - | - | - | - | - | - | Ірландія, Індія
| 2022-Aazem-Electrode materials for stretchable |
78. | Низького тиску
| Ємність
| Весь огляд
| - | - | - | - | - | - | - | - | США
| 2022-Ha-Soft Capacitive Pressure Sensors_ Tren |
79. | Низького тиску
| ємність
| thermoplastic polyurethane nanofiber membrane(TPUNM)
| поліімід(PI) /conductive fabric
| - | - | 280
| 0-2000
| 65
| 1000
| LCR-meter TH2832, Tonghui Co
| Китай
| 2022-Li-Highly Sensitive and Flexible Capaciti |
80. | Низького тиску
| Ємність
| carbon nanotube(CNT)/ВаTiO3
| polyurethane (DCPU)
| - | - | 2510
| 0-100 000
| - | 1000
| - | Китай
| 2022-Ma-High-performance capacitive pressure s |
81. | Гнучкі датчики низького тиску
| Ємність, опір
| Весь огляд
| - | - | - | - | - | - | - | - | Китай
| 2022-Ma-Recent progress in flexible capacitive |
82. | Гнучкі ємнісні низького тиску
| температури, вологості, деформаційні, газові, електрохімічні, оптичні та магнітні
| Посилання на ємнісні датчики 80-85
| - | - | - | - | - | - | - | - | Японія
| 2022-Nakajima-Flexible Ceramic Film Sensors fo |
83. | Ємнісні датчики низького тиску на текстильній основі
| Ємність
| Посилання на ємнісні датчики 58-59, 94-113, таблиця 2
| - | - | - | - | - | - | - | - | Китай
| 2022-Su-Textile-Based Flexible Capacitive Pres |
84. | Ємнісні датчики низького тиску на текстильній основі
| Ємність
| Посилання на ємнісні датчики 58-59, 94-113, таблиця 2
| - | - | - | - | - | - | - | - | Китай
| 2022-Zhao-Performance_Enhancing_Mechanism,_Implementation_and_Practical_Advantages |
85. | Низького тиску носимий пасивний ємнісний манометричний промисловий медичний | Штучна шкіра | Тиск | Поліуретан, полівінілхлорид (PVC), поліестер або поліамід | - | - | - | - | - | - | - | Емкісні сенсори, п'єзоелектричні матеріали, еластомерні матеріали | Україна | 2023-ChatGPT |
86. | Гнучкі датчики для визначення вологості, деформації/низького тиску
| Ємність, опір
| Посилання на ємнісні датчики 91,92
| - | - | - | - | - | - | - | - | Китай
| 2023-Liu-An Overview of Flexible Sensors_ Deve |