№ | Тип датчика (диференціальні, абсолютного тиску, високотемпературні, герметичні, мініатюрні, низького тиску) | Контрольована величина | Активний матеріал | Матриця, підкладка або електроди | Мінімальний тиск, Па | Роздільна здатність, Па | Чутливість, Па-1 | Робочий діапазон, Па | Швидкість реакції, мс | Кількість циклів | Методи вимірювання | Країна авторів | Стаття |
Australia | |||||||||||||
19. | торкання Flexible Pressure Sensor | П'єзонапруга | polydimethylsiloxane (PDMS) thin fi lm | - | - | - | 50.17 kPa −1 | 0–70 Pa | 20 ms | 10 000 | The current differences and the I-V characteristics for the pressure sensor were recorded by the Parstat 2273 electrochemical system (Princeton Applied Research) | Australia | 2015-Su-Mimosa-inspired design of a flexible p.pdf |
27. | Resistive, Piezoelectric, Triboelectric, Capacitive низького тиску | Physical stimuli (pressure, temperature, chemical, etc.) | Conductive nanomaterials (0D, 1D, 2D), conducting polymers, inorganic oxides, hybrid materials | Elastomers (polyethylene terephthalate, polyethylene naphthalate, polydimethoxysilane, polyurethane, latex, etc.) | - | - | Dependent on the type of sensor and nanomaterial used | Dependent on the type of sensor and nanomaterial used | Slow for resistive sensors, faster for other transduction methods | - | Percolation mechanisms, device fabrication methods, macroscale and microscale patterning, substrate modification, ink formation and delivery methods | Australia | 2017-Jason-Resistive electronic skin.pdf |
50. | Тканинні датчики деформації низького тиску | резистивний, ємнісний, п’єзоелектричний, трибоелектричний, оптичний | Посилання на ємнісні датчики 29-32, 83,84 | - | - | - | - | - | - | - | - | Australia | 2019-Seyedin-Textile strain sensors_ a review.pdf |
51. | Низького тиску | П'єзоопір | graphene oxide (EGO)/PDMS submicrobeads | Si wafer | - | - | 300 | 248–500 000 | 83 | - | Keithley2604, Tektronix Inc. | Australia | 2019-Shi-A versatile PDMS submicrobead_graphen.pdf |
53. | High-temperature, Hermetic, Miniature, Touch | - | Liquid metal alloys of gallium | - | - | - | - | - | - | - | - | Australia | 2019-Yang-Electronic Skins Based on Liquid Metals.pdf |
Austria | |||||||||||||
67. | Touch | Pressure | Elastomeric foam-based dielectric layer blend PDMS and BaTiO3 and PEDOT PSS and AgNWs composite based electrodes | Porous PDMS | 0 kPa | - | 0.918 kPa-1 | 0-20 kPa | - | 120 | Capacitive transduction | Austria | 2021-Karipoth-Graphite-Based Bioinspired Piezo.pdf |
Belgium | |||||||||||||
1. | Торкання носимий пасивний ємнісний манометричний Галузі немає | Ємність | Епітаксійний шар p-Si | Кремній | 10^4 | - | - | (1-7)*10^4 | < 1 | - | Інтерфейсна система CAPRICE | Belgium | 1990-Puers-A capacitive pressure sensor with l.pdf |
China | |||||||||||||
10. | Трібоелектричний наногенератор (TENG) для самопоживного сенсора | вібрація | - | - | - | - | - | - | - | - | - | USA, China | 2013-Hu-Triboelectric nanogenerator built on s.pdf |
20. | торкання, Multimodal All Graphene Electronic Skin functional sensors were included in this matrix: humidity, thermal, and pressure sensors | П'єзоопір and capacity | CVD-graphene | polydimethylsiloxane (PDMS) substrate | - | - | 0.002 kPa −1 | 0 to 400 kPa | <0.2 s | over 2000 cycles | a HP4284A high-precision LCR meter, Agilent 4980A precision LCR meter with a mark-10 force gauge M5-05 | South South Korea, China | 2016-Ho-Stretchable and Multimodal All Graphen.pdf |
28. | Низького тиску, Highly sensitive flexible piezocapacitive (PC) pressure sensor | - | CaCu3Ti4O12 (CCTO) nanocrystals | polydimethylsiloxane (PDMS) | - | - | 1.66 kPa-1 | 0-640 Pa | 33 ms | >3000 | Dielectric properties are measured on Agilent 4294A Precision Impedance Analyze. The capacitance change respect to the loading pressure is tested via the AD7746 capacitance-todigital converter (National Instruments) board mounted on a home-made setup. Mechanical properties including quasi-static and dynamic compression were carried out on Zwick/Roell Z010 with a load cell of 1KN | China | 2017-Mu-Enhanced Piezocapacitive Effect in CaC.pdf |
32. | Диференційний, Абсолютний тиск, Високотемпературний, Герметичний, Мініатюрний, Низький тиск, Дотик. | Температура та вологість. | Графен. | Полідиметилсилоксан (PDMS) та каптон (CAB). | - | - | 1.343 °C для температурного датчика, 0.19 pF- для вологості. | - | - | - | Електричні вимірювання. | China. | 2017-Zhao-Simultaneous High Sensitivity Sensin.pdf |
34. | Touch | Pressure, temperature, humidity | Graphene | Flexible and stretchable | - | High | High | - | - | - | Piezoresistive, capacitive, piezoelectric | China | 2018-Chen-Recent Developments in Graphene-Base.pdf |
35. | низького тиску Capacitive Pressure Sensor | ємність | thin conductive layer of graphene | PDMS-substrate | 3.3 Pa | - | 0.33 kPa-1 | - | <20 ms | 1000 cycles | Ємність вимірювали вимірювачем Agilent E4980A LCR на частоті 1 кГц і 300 кГц при напрузі змінного струму 1 В. Механічний тиск забезпечувався та записувався за допомогою контролера руху Zolix SC300-3A та датчика сили Mark 10. | China | 2018-He-Capacitive Pressure Sensor with High S.pdf |
36. | низького тиску Highly Sensitive Capacitive Pressure | capacity | one-dimensional silver nanowires (AgNWs cured PDMS film | healable polyurethane (HPU) | 10 Pa | - | 1.9 kPa-1 | <3 kPa | <100 ms | 1000 cycles | Dielectric properties and alternating conductivity were measured by applying an Agilent 4294A impedance analyzer. | China | 2018-Liu-An Omni-Healable and Highly Sensitive.pdf |
37. | низького тиску flexible capacitive pressure sensor | ємність | coated with silver nanowires (AgNWs | polydimethylsiloxane (PDMS) substrate with a micro-arrayed PDMS dielectric layer | - | - | 2.04 kPa-1 | 0–2000 Pa | - | - | An Agilent 4280A LCR meter was introduced to get the capacitance. The performance of the pressure sensor was detected using a ZHIQU pressure testing machine with a z-axis motor stage, which can be applied at a | China | 2018-Ma-A highly sensitive and flexible capaci.pdf |
39. | Торкання носимий пасивний ємнісний манометричний медичний | Зовнішній фізичний тиск | Ультратонкі срібні нанопровідники | Мікроструктури з малою щільністю та високим відношенням висоти до діаметра, відтворені з листа лотосу | 0,8 Па | - | 1,194 кПа-1 | - | 36 мс | > 100 000 | Сканування ємності | China | 2018-Wan-A Highly Sensitive Flexible Capacitiv.pdf |
40. | Ємнісний низького тиску (using natural plant materials as dielectric layer) | Тиск | Природні рослинні матеріали (пелюстки, листя троянд, листя Acacia Mill) | - | 0,6 Па | 1,54 кПа | Висока | 0,6 Па - 115 кПа | - | 5000 | Зміни ємності, виміряні за допомогою вимірювача LCR | China | 2018-Wan-Natural Plant Materials as Dielectric.pdf |
41. | Низького тиску | Різні | Посилання на ємнісні датчики 25, 26 | - | - | - | - | - | - | - | - | China | 2018-Xu-Recent Developments for Flexible Press.pdf |
42. | низького тиску Breathable and Screen-Printed Pressure Sensor | ємність | nanofiber membranes | poly(vinylidene fluoride and thermoplastic polyurethane NM | - | - | 4.2 kPa−1 | 0–400 Pa | <26 ms | 10 000 cycles | Capacitance - Keysight E4980AL Precision LCR meter at 1 kHz frequency, 1 V ac. Pressure - a mechanical performance testing system (Micro Tester, 5848, Instron). | China, USA | 2018-Yang-A Breathable and Screen-Printed Pres.pdf |
43. | Торкання Низького тиску носимий пасивний ємнісний манометричний Галузі немає | Тиск | Полімерний білайнер PMMA-PAA | Поліетилен терефталат (PET) | 10 кПа | - | 56.15 кПа.1 | - | Менше 20 мс | Більше 2000 циклів | П'єзорезистивність, ємність, п'єзоелектричність | China | 2018-Yin-Solution-Processed Bilayer Dielectric.pdf |
44. | Touch | Pressure and strain | Fluorocarbon elastomer and fluorine-rich ionic liquid | Gel-like aquatic stretchable material | - | - | - | - | - | - | Conductive atomic force microscopy, impedance meter, Instron 5942 instrument, transmission data recording, touch panel, conformable pressure sensor, infrared signal transmission and opto-electronic communication system, soft PCB | China | 2019-Cao-Self-healing electronic skins for aqu.pdf |
48. | Торкання носимий пасивний ємнісний манометричний побутовий | Ємність | Polydimethylsiloxane (PDMS) | PET/Au | - | 1 | 420 | 0-22 000 | - | 1000 | Analyzer B1500A, Agilent | China | 2019-Luo-Flexible Capacitive Pressure Sensor E.pdf |
55. | Низького тиску | Опір | Graphene nanoplatelets (GNPs), multi-walled carbonnanotubes (MWCNT) | PDMS | 2.2*10^4 | - | 164 | 2.2-7.5*10^4 | 100 | 1000 | Digital multimeter (Agilent 34410A) | China | 2020-Chen-High-sensitivity, fast-response flex.pdf |
57. | Низького тиску | Резистивні, ємнісні, п’єзоелектричні, трибоелектричні | Посилання на ємнісні датчики 15,17,26,114-125,211 таблиця 2 | - | - | - | - | - | - | - | - | China | 2020-Li-Physical sensors for skin-inspired electronics.pdf |
58. | Capacitive (Touch) | Tiny pressure | PVDF-TrFE | Interlocked asymmetric-nanocone arrays | 0.3 Pa | - | 6.583 kPa | Low pressure region 0-100 Pa | 48-36 ms | 10,000 cycles | Capacitance | China | 2020-Niu-Highly Morphology-Controllable and Hi.pdf |
62. | Низького тиску | Ємність | polydimethylsiloxane (PDMS)-Аu | polyvinylidene fluoride (PVDF) | 0,7 | - | 0-130 | - | 25 | 100000 | LCR digital bridge tester (Gwinstek, LCR-6002) | China | 2020-Xiong-A flexible, ultra-highly sensitive.pdf |
63. | Capacitive touch | Pressure | Thermoplastic polyurethane (TPU) nanofibers wrapped with electrically conductive materials Ag nanowires (AgNWs) | 3D network dielectric layer | 0.9 Pa | - | 1.21 kPa-1 | - | 100 ms | 10,000 cycles | Capacitive sensing | China | 2020-Zhao-3D Dielectric Layer Enabled Highly S.pdf |
64. | Тактильні (низького та абсолютного тиску) та температурні на органічних транзисторах | різні | Посилання на ємнісні датчики 46-48 | - | - | - | - | - | - | - | - | China | 2020-Zhu-Tactile and temperature sensors based.pdf |
69. | Гнучкі ємнісні датчики низького тиску | Ємність | Посилання на ємнісні датчики 40-52, таблиця 1 | - | - | - | - | - | - | - | - | China | 2021-Li-Research progress of flexible capacitive pressure sensor.pdf |
71. | Торкання Низького тиску Середнього тиску носимий пасивний ємнісний манометричний побутовий промисловий автомобільний аерокосмічний медичний | Pressure | Graphene-based materials, branched-CNTs and GNPs, graphene oxide, elastomers-foam, PDMS, porous PDMS, carbon black-PDMS-PET, wrinkled dielectrics, micro-pyramids and pillars, ionic gel-pyramids, PHB-PHV CNT-PU, fluidic-ionic liquid, fiber dielectrics, and printed dielectrics. | Various materials including Ag, Cu, AgNW, ITO, PET, Ti-Au, Pt, Au, Ni-Ti, Al, and AgNP-SBS. | 0.01 kPa | Depends on the sensor, ranging from 0.0016 kPa to 35 kPa. | Depends on the sensor, ranging from 0.0019 to 8.25 fF/kPa. | Depends on the sensor, ranging from 0.01 kPa to 240-1000 kPa. | Depends on the sensor, ranging from 0.03 ms to 578 ms. | . | Capacitive pressure sensors that detect capacitance change upon pressure application. | China. | 2021-Mishra-Recent Progress on Flexible Capaci.pdf |
73. | Низького тиску | Ємність | Весь огляд | - | - | - | - | - | - | - | - | China | 2021-Qin-Flexible and Stretchable Capacitive Sensors.pdf |
74. | Низького тиску | Різні | Посилання на ємнісні датчики 43-58, таблиця 2 | - | - | - | - | - | - | - | - | China | 2021-Wang-Research progress of flexible wearab.pdf |
75. | Низького тиску | Ємність | PVA/KOH | PET-In-Sn-O film | 10 | 10^-3 | 2.083*10^4 | 0-5*10^3 | 50 | 1600 | Analyzer WK6500B,Wayne Kerr | China | 2021-Yang-A flexible highly sensitive capaciti.pdf |
79. | Низького тиску | ємність | thermoplastic polyurethane nanofiber membrane(TPUNM) | поліімід(PI) /conductive fabric | - | - | 280 | 0-2000 | 65 | 1000 | LCR-meter TH2832, Tonghui Co | China | 2022-Li-Highly Sensitive and Flexible Capaciti.pdf |
80. | Низького тиску | Ємність | carbon nanotube(CNT)/ВаTiO3 | polyurethane (DCPU) | - | - | 2510 | 0-100 000 | - | 1000 | - | China | 2022-Ma-High-performance capacitive pressure s.pdf |
81. | Гнучкі датчики низького тиску | Ємність, опір | Весь огляд | - | - | - | - | - | - | - | - | China | 2022-Ma-Recent progress in flexible capacitive.pdf |
83. | Ємнісні датчики низького тиску на текстильній основі | Ємність | Посилання на ємнісні датчики 58-59, 94-113, таблиця 2 | - | - | - | - | - | - | - | - | China | 2022-Su-Textile-Based Flexible Capacitive Pres.pdf |
84. | Ємнісні датчики низького тиску на текстильній основі | Ємність | Посилання на ємнісні датчики 58-59, 94-113, таблиця 2 | - | - | - | - | - | - | - | - | China | 2022-Zhao-Performance_Enhancing_Mechanism,_Implementation_and_Practical_Advantages.pdf |
86. | Гнучкі датчики для визначення вологості, деформації/низького тиску | Ємність, опір | Посилання на ємнісні датчики 91,92 | - | - | - | - | - | - | - | - | China | 2023-Liu-An Overview of Flexible Sensors_ Deve.pdf |
Denmark | |||||||||||||
66. | Друковані датчики низького тиску, температури, вологості, світла | Різні | Посилання на ємнісні датчики 174 | - | - | - | - | - | - | - | - | Denmark | 2021-Abdolmaleki-Droplet-Based Techniques for.pdf |
France | |||||||||||||
49. | Low pressure | Pressure | Composite foam materials filled with conductive carbon black particles | PDMS (Polydimethylsiloxane) | 0.2 kPa | - | 35.1 kPa-1 in 0-0.2 kPa pressure range and 6.6 kPa-1 in 0.2-1.5kPa range | - | Fast | Stable pressure-capacitance changes and sensitivities after hundreds of cycles | Capacitance measurement | France | 2019-Pruvost-Polymeric foams for flexible and.pdf |
Ireland | |||||||||||||
77. | Трибоелектричний наногенератор | Опір | Про датчики ємності посилань немає | - | - | - | - | - | - | - | - | Ireland, India | 2022-Aazem-Electrode materials for stretchable.pdf |
Ilmenau | |||||||||||||
17. | Різні низькотемпературні свіпспікаємі керамічні датчики (LTCC) | Sensors: Piezoelectric, Piezoresistive, Capacitance; Accelerometers: Uniaxial, Triaxial, in SMD package; Fluid flow sensors: Turbine, Thermo-resistive; Force sensor: cantilever, ultrasonic-waves-based | Посилання на ємнісні датчики низького тиску зі структурою полімер/наповнювач відсутні, є LTCC датчики | - | - | - | - | - | - | - | - | Poland, Switzerland, Slovenia, Ilmenau | 2015-Jurków-Overview on low temperature co-fir.pdf |
India | |||||||||||||
54. | Низького тиску | Ємність | Polydimethylsiloxane(PDMS) | In-Snoxide(ITO) coated with poly(ethyleneterephthalate) (PET) | 5 | - | 0.0046 | 0-30000 | 100 | - | LCR meter (HIOKI 3532−50 LCR Hi-TESTER) | India | 2020-Bijender-One-Rupee Ultrasensitive Wearabl.pdf |
77. | Трибоелектричний наногенератор | Опір | Про датчики ємності посилань немає | - | - | - | - | - | - | - | - | Ireland, India | 2022-Aazem-Electrode materials for stretchable.pdf |
Italy | |||||||||||||
11. | Механооптичний датчик низького тиску | Інтенсивність світла, що досягає детекторів | випромінювачі (TSKS5400S, 950 нм, Vishay, Malvern) і детектори (TEKT5400S, 950 nm, Vishay) | PDMS як хвилевід і як зона сприйняття, із вбудованими випромінювачами і детекторами | - | - | 1.93 kPa−1 | 0-100 kPa | - | - | вихідні сигнали датчика контролювали осцилографом Agilent Technologies MSO7014A і аналізували за допомогою Matlab | Italy, UK | 2013-Levi-Soft, transparent, electronic skin f.pdf |
Japan | |||||||||||||
52. | High-temperature, Hermetic, Miniature, Low pressure, Touch | Thermal energy | Poly(3,4-ethylenedioxythiophene)-tosylate, carbon nanotubes, transition metal dichalcogenides | Soft biocompatible substrate | - | - | - | - | - | - | Printing techniques | Japan | 2019-Tian-Body Heat Powers Future Electronic S.pdf |
70. | Porous PDMS-based capacitive pressure sensors with fabric-based conductive electrodes (options: Miniature, Touch, High-temperature, Hermetic, Absolute pressure, Differential, Low pressure) | Pressure | Porous polydimethylsiloxane (PDMS) | Fabric-based conductive electrodes | 50 Pa | - | Highest sensitivity over wide pressure sensing range in low-pressure ranges (50 Pa - 0.3 kPa) | 0-1000 kPa | - | 100 cycles | Capacitive pressure sensing | Japan | 2021-Masihi-Highly Sensitive Porous PDMS-Based.pdf |
82. | Гнучкі ємнісні низького тиску | температури, вологості, деформаційні, газові, електрохімічні, оптичні та магнітні | Посилання на ємнісні датчики 80-85 | - | - | - | - | - | - | - | - | Japan | 2022-Nakajima-Flexible Ceramic Film Sensors fo.pdf |
Poland | |||||||||||||
17. | Різні низькотемпературні свіпспікаємі керамічні датчики (LTCC) | Sensors: Piezoelectric, Piezoresistive, Capacitance; Accelerometers: Uniaxial, Triaxial, in SMD package; Fluid flow sensors: Turbine, Thermo-resistive; Force sensor: cantilever, ultrasonic-waves-based | Посилання на ємнісні датчики низького тиску зі структурою полімер/наповнювач відсутні, є LTCC датчики | - | - | - | - | - | - | - | - | Poland, Switzerland, Slovenia, Ilmenau | 2015-Jurków-Overview on low temperature co-fir.pdf |
Saudi Arabia | |||||||||||||
21. | низького тиску | ємність | - | polydimethylsiloxane (PDMS) | - | - | 0.63 kPa−1 | under 1 kPa | in the milliseconds range | 10 000 cycles | at a frequency of 300 kHz with a 1 V AC signal, using an Agilent E4980A Precision LCR Meter | Saudi Arabia, South Korea | 2016-Kang-Highly Sensitive Pressure Sensor Bas.pdf |
Singapore | |||||||||||||
23. | торкання, Flexible Capacitive Tactile Sensor | capacity | - | micropatterned PDMS film | 0 N | - | 0.815 kPa −1 | 0 to 50 N | ≈38 ms | - | Capacitance Meter (Agilent E4981A) | Singapore | 2016-Li-Flexible Capacitive Tactile Sensor Bas.pdf |
76. | Piezoresistive, Capacitive, Piezoelectric, Triboelectric | Physical interaction with environment | Conducting or semiconducting materials, carbon-based materials, dielectric polymers, piezoelectric materials, triboelectric materials | Elastic polymers, thermoplastics, thermosetting elastomers, cellulose | - | Depends on printing method and materials used | Depends on materials used | - | - | - | Piezoresistive sensing, capacitive sensing, piezoelectric sensing, triboelectric sensing | Singapore | 2021-Zhou-Three-dimensional printing of tactil.pdf |
Slovenia | |||||||||||||
17. | Різні низькотемпературні свіпспікаємі керамічні датчики (LTCC) | Sensors: Piezoelectric, Piezoresistive, Capacitance; Accelerometers: Uniaxial, Triaxial, in SMD package; Fluid flow sensors: Turbine, Thermo-resistive; Force sensor: cantilever, ultrasonic-waves-based | Посилання на ємнісні датчики низького тиску зі структурою полімер/наповнювач відсутні, є LTCC датчики | - | - | - | - | - | - | - | - | Poland, Switzerland, Slovenia, Ilmenau | 2015-Jurków-Overview on low temperature co-fir.pdf |
South Korea | |||||||||||||
15. | низького тиску Ionic skin | capacity | A dielectric layer was sandwiched between two layers of the hydrogel acrylamide, resulting in a capacitive sensor | - | - | - | - | 0-2.5 Kpa | - | 1000 cycles | capacitance meter (Agilent, E4980A) | South Korea, USA | 2014-Sun-Ionic skin.pdf |
16. | Повністю еластомерна матриця ємнісних датчиків низького тиску | Pressure | conductive PDMS (CPDMS, electrodes, and interconnects) | insulative elastomeric (plates and dielectrics) | Less than 50 kPa | - | 0.2 +/- 0.02 (DC-C0) | 50 kPa-1.2 MPa | 10 с | - | LCR meter (Model-6375, Microtest) interfaced to a computer with a data cable (RS-232) | South Korea | 2014-Woo-A thin all-elastomeric capacitive pre.pdf |
18. | Ultrasensitive Textile Pressure Sensor низького тиску | ємність | PDMS-coated conductive fibers | elastic rubber and Ag nanoparticle composites | 0.21 kPa | - | 0.21 kPa −1 | under 2 kPa | ≈40 ms | > 10 000 cycles | - | South Korea, USA | 2015-Lee-Conductive fiber-based ultrasensitive.pdf |
20. | торкання, Multimodal All Graphene Electronic Skin functional sensors were included in this matrix: humidity, thermal, and pressure sensors | П'єзоопір and capacity | CVD-graphene | polydimethylsiloxane (PDMS) substrate | - | - | 0.002 kPa −1 | 0 to 400 kPa | <0.2 s | over 2000 cycles | a HP4284A high-precision LCR meter, Agilent 4980A precision LCR meter with a mark-10 force gauge M5-05 | South South Korea, China | 2016-Ho-Stretchable and Multimodal All Graphen.pdf |
21. | низького тиску | ємність | - | polydimethylsiloxane (PDMS) | - | - | 0.63 kPa−1 | under 1 kPa | in the milliseconds range | 10 000 cycles | at a frequency of 300 kHz with a 1 V AC signal, using an Agilent E4980A Precision LCR Meter | Saudi Arabia, South Korea | 2016-Kang-Highly Sensitive Pressure Sensor Bas.pdf |
22. | датчик торкання, Flexible and Wearable Pressure Sensor | capacity | 3-D microporous dielectric layer with serially stacked springs of Ecoflex bridge | microporous Ecoflex | 0.1 Pa | - | 0.601 kPa-1 | 0.1 Pa - 130 kPa | - | 1000 repeated | The capacitance of each sensor was measured with a precision LCR meter (E4980A, Agilent, USA) at a frequency of 400 kHz | South South Korea, USA | 2016-Kwon-Highly Sensitive, Flexible, and Wear.pdf |
24. | датчик низького тиску і торкання highly sensitive capacitive pressure sensor based on conductive fibers with a microporous dielectric for wearable electronics | capacity | silver nanoparticles (AgNPs) in poly(styrene-block-butadiene-styrene) (SBS) polymer on the surface of Twaron fibers | - | - | - | 0.278 kPa1 | 0-50 kPa | 340 ms | 10 000 cycles | A digital oscilloscope TDS5052B Digital Phosphor Oscilloscope, Tektronix | South Korea | 2017-Chhetry-A flexible and highly sensitive c.pdf |
25. | Торкання Низького тиску носимий пасивний ємнісний манометричний побутовий медичний | Miniature, Hermetic | Pressure | Ionic gel | Polyethylene terephthalate (PET) | 30 Pa | - | 41 kPa-1 at pressures below 400 Pa, 13 kPa-1 over the range between 0.5 and 5 kPa, 5.2 kPa-1 at 15 kPa, and approximately 2.1 kPa-1 at 50 kPa | Up to 50 kPa | Fast | Consistent device operation over multiple pressure cycles | Capacitance changes upon pressure application | South Korea | 2017-Cho-Micropatterned Pyramidal Ionic Gels f.pdf |
29. | Датчик торкання | - | piezoelectric PZT based sensors | flexible substrates | - | - | - | - | Touch signals - 0.05 seconds, bending signals - 0.2 seconds | - | The touch force is measured to be approximately 0.25 N using a force meter (Imada DPS-110) | South Korea | 2017-Noh-Self-powered flexible touch sensors b.pdf |
30. | Текстильний низького тиску? A Flexible Capacitive Pressure Sensor for Wearable Respiration Monitoring System | Capacity | Silver nanowire (AgNWs) and Carbon fibers (CFs) thin films | Polydimethylsiloxane (PDMS) | - | 3pF | 0.161 kPa-1 for low pressure regime (< 10 kPa) | < 200 kPa | 3 sec | over 6,000 cycles | a four-point probe meter (RC2175, EDTM) | South Korea | 2017-Park-A Flexible Capacitive Pressure Senso.pdf |
33. | низького тиску Miniature | Robot motion | Soft electronics | Soft body frame - SMDs, printed epoxies (Ag epoxy and epoxy), printed multilayer stretchable interconnects (Ag), and a soft foundation [poly(dimethylsiloxane) (PDMS)] | - | - | - | - | - | - | Wireless inter-skin communication | South Korea | 2018-Byun-Electronic skins for soft, compact, reversible assembly.pdf |
38. | Touch | Pressure | Graphene | Air gap and spacers | 6.55 kPa | - | 6.55 kPa | - | 70 ms | 500 | Capacitive | South Korea | 2018-Pyo-Flexible, Transparent, Sensitive, and.pdf |
47. | Торкання носимий пасивний ємнісний манометричний Галузі немає | Capacitive, Porous | Pressure | Polydimethylsiloxane (PDMS) | Aluminum (Al) | 0.0115 kPa | - | 0.813 kPa1 (for porous PDMS dielectric layer with 40 wt sacricial solvent), 1.43 kPa1 (with microstructures on surface porous PDMS dielectric layer) | - | 70 ms | 5000 loading-unloading cycles | Capacitance change ratio | South Korea | 2019-Kim-Fabrication of highly sensitive capac.pdf |
56. | Низького тиску | Ємність | Carbon nanotube composite (PEMC) | Провідні промислові електроди | 1*10^3 | - | 1.72*10^3 | 0−10*10^3 | 100 | 10000 | - | South Korea | 2020-Choi-Synergetic Effect of Porous Elastome.pdf |
61. | Низького тиску | Не вказана | Посилання на ємнісні датчики 10, 26, 49, 50 | - | - | - | - | - | - | - | - | USA, South Korea | 2020-Shih-Electronic skins and machine learning for intelligent soft robots.pdf |
68. | Торкання носимий пасивний ємнісний манометричний медичний | Miniature | Pressure | Polydimethylsiloxane (PDMS) | Porous structures with cone-shaped patterns | - | - | 4.99 kPa-1 | - | 16 ms | 5000 | Capacitance variation | South Korea | 2021-Kim-Simple fabrication of highly sensitiv.pdf |
72. | Тактильні датчики низького тиску | п'єзорезистивні, п'єзоємні, п'єзоелектричні та трибоелектричні | Посилання на п'єзоємнісні датчики 78-85, таблиця 2 | - | - | - | - | - | - | - | - | South Korea | 2021-Nguyen-Recent Development of Flexible Tac.pdf |
Spain | |||||||||||||
59. | Друковані ємнісні сенсори низького тиску | Ємність | Всі посилання | - | - | - | - | - | - | - | - | Spain | 2020-Rivadeneyra-Recent Advances in Printed Ca.pdf |
Switzerland | |||||||||||||
12. | Мікрофабриковані ємнісні датчики низького тиску | - | діелектрична мембрана з гнучкого пінополіуретану | електроди з тонкої золотої плівки | - | - | - | 1 kPa - 100 kPa | - | - | - | Switzerland | 2013-Vandeparre-Extremely robust and conformab.pdf |
17. | Різні низькотемпературні свіпспікаємі керамічні датчики (LTCC) | Sensors: Piezoelectric, Piezoresistive, Capacitance; Accelerometers: Uniaxial, Triaxial, in SMD package; Fluid flow sensors: Turbine, Thermo-resistive; Force sensor: cantilever, ultrasonic-waves-based | Посилання на ємнісні датчики низького тиску зі структурою полімер/наповнювач відсутні, є LTCC датчики | - | - | - | - | - | - | - | - | Poland, Switzerland, Slovenia, Ilmenau | 2015-Jurków-Overview on low temperature co-fir.pdf |
Taiwan | |||||||||||||
5. | Низького тиску | Ємність | Polydimethylsiloxane (PDMS, Sylgard 184) | Au, Polyimide (PI, Durimide 7320) | - | - | 10-14 пФ / (пФ мм рт. ст.) | 0 до 20 мм рт. ст. | - | - | LCR meter (accuracy 0.05%, 6 digits, resolution 0.01fF-9.99999F) | Taiwan | 2007-Chiang-An implantable capacitive pressure.pdf |
Turkey | |||||||||||||
31. | датчик низького тиску? composed of top and bottom plates, capacitive pressure sensor, 0 Pa and 8.88 kPa, parallel-plate capacitive sensor with a corrugated surface | capacity | Printed polymer sensor the sensor surfaces are coated with 10 nm thick Cr and 115 nm thick Au, commercially available polymer materia | - | - | - | 0.14 pF / kPa | 0 Pa and 8880 Pa or The maximum sensitivity is obtained as 0.14 pF/kPa in the 0.71 kPa to 2.13 kPa pressure range. | - | - | sensor is connected to GWINSTEK-LCR 814 LCR meter for measuring the capacitance change | Turkey | 2017-Tuna-3D printed capacitive pressure senso.pdf |
Ukraine | |||||||||||||
85. | Низького тиску носимий пасивний ємнісний манометричний промисловий медичний | Штучна шкіра | Тиск | Поліуретан, полівінілхлорид (PVC), поліестер або поліамід | - | - | - | - | - | - | - | Емкісні сенсори, п'єзоелектричні матеріали, еластомерні матеріали | Ukraine | 2023-ChatGPT.pdf |
UK | |||||||||||||
6. | Низького тиску, деформації, торкання | Єсність | Діелектричний шар PDMS (polydimethylsiloxane, Sylgard 184, Dow Corning) | Золоті електроди | - | - | ~ 13 fF/100 kPa | 0-100 кПа | - | - | Аналогове визначенння ємності на EVAL-AD7152 | UK | 2009-Cotton-A Multifunctional Capacitive Senso.pdf |
11. | Механооптичний датчик низького тиску | Інтенсивність світла, що досягає детекторів | випромінювачі (TSKS5400S, 950 нм, Vishay, Malvern) і детектори (TEKT5400S, 950 nm, Vishay) | PDMS як хвилевід і як зона сприйняття, із вбудованими випромінювачами і детекторами | - | - | 1.93 kPa−1 | 0-100 kPa | - | - | вихідні сигнали датчика контролювали осцилографом Agilent Technologies MSO7014A і аналізували за допомогою Matlab | Italy, UK | 2013-Levi-Soft, transparent, electronic skin f.pdf |
45. | Touch | Pressure, temperature, gas, analytes, biomarkers, physiological parameters | Graphene, photovoltaics, thermoelectric, piezoelectric, triboelectric | Flexible, bendable, stretchable substrates | - | - | - | - | - | - | Sensing parameters such as contact force, temperature, pain, and slip | UK | 2019-Dahiya-E-Skin_ From Humanoids to Humans [.pdf |
USA | |||||||||||||
2. | Абсолютного тиску, торкання | Ємність | SiO2 | Si | 0.6895 | - | 0.086 pF/psi | 0.6895 - 6.895*10^6 | - | - | - | USA | 1999-Ko-Touch mode capacitive pressure sensors.pdf |
3. | Абсолютного тиску, торкання | Ємність | Si | Si | 137900 | 5% | - | 137900-689500 (20-100psi) | 6000 | - | PC програма ABAQUS | USA | 1999-Meng-Modeling ___ for touch mode capacitive sensors.pdf |
4. | Абсолютного тиску, торкання | Ємність | Полі-Si | Si | 55160 | - | 5.0–25.0 Hz/psi | 55160-413700 (8–60 psi) | - | - | Конвертер ємності в струм | USA | 2000-Guo-A monolithically integrated surface m.pdf |
7. | Низького тиску, торкання | Ємність | Капрон поліімід, нержавіюча сталь, титан, кремній, кераміка, поліімід-2610 | n-SiO2 | - | 0.012 Pa for parabolic shape sensor | 7.7 pF/KPa | 0-35 кПа | - | - | LCR meter (Agilent 4284A) | USA | 2009-Han-Smooth Contact Capacitive Pressure Se.pdf |
8. | Матричний датчик низького тиску | Ємність | PDMS (Полідиметилсилоксан) | 25 мкм ПЕТ плівка з 150 нм алюмінієвими смугами, n-doped SiO2 | - | 3 | 0.55 kPa-1, | <~10 kPa | 1-10 | - | Agilent E4980A Precision LCR meter | USA | 2010-Mannsfeld-Highly sensitive flexible press.pdf |
9. | Низького тиску | тиск, деформація | вуглецеві нанотрубки | полідиметилсилоксан | 0.1 | 0.1 | 0.2 | від 0 до 50 кПа | - | 12 500 | Agilent E498A precision LCR meter | USA | 2011-Lipomi-Skin-like pressure and strain sens.pdf |
10. | Трібоелектричний наногенератор (TENG) для самопоживного сенсора | вібрація | - | - | - | - | - | - | - | - | - | USA, China | 2013-Hu-Triboelectric nanogenerator built on s.pdf |
13. | Кераміко-полімерні ємнісні датчики низького тиску | Ємність | Composite: dielectric material PZT/BaTiO3 + polymer | PVDF/PVP | - | - | - | 0 - 350 kPa | - | - | Вимірювання ємності на 200 кГц за допомогою вимірювача BK Precision 889B LCR | USA | 2013-Weadon-Ceramic–polymer capacitive sensors.pdf |
14. | низького тиску Strain Sensors within Highly Stretchable Elastomers | П'єзоопір | carbon conductive grease | A Ecoflex | 0.1 | - | - | 0.1 to 2000 Pa | 2 s | 1000 cycles | The sensors are mounted on a mechanical tester (Instron 5544A, Instron) | USA | 2014-Muth-Embedded 3D printing of strain senso.pdf |
15. | низького тиску Ionic skin | capacity | A dielectric layer was sandwiched between two layers of the hydrogel acrylamide, resulting in a capacitive sensor | - | - | - | - | 0-2.5 Kpa | - | 1000 cycles | capacitance meter (Agilent, E4980A) | South Korea, USA | 2014-Sun-Ionic skin.pdf |
18. | Ultrasensitive Textile Pressure Sensor низького тиску | ємність | PDMS-coated conductive fibers | elastic rubber and Ag nanoparticle composites | 0.21 kPa | - | 0.21 kPa −1 | under 2 kPa | ≈40 ms | > 10 000 cycles | - | South Korea, USA | 2015-Lee-Conductive fiber-based ultrasensitive.pdf |
22. | датчик торкання, Flexible and Wearable Pressure Sensor | capacity | 3-D microporous dielectric layer with serially stacked springs of Ecoflex bridge | microporous Ecoflex | 0.1 Pa | - | 0.601 kPa-1 | 0.1 Pa - 130 kPa | - | 1000 repeated | The capacitance of each sensor was measured with a precision LCR meter (E4980A, Agilent, USA) at a frequency of 400 kHz | South South Korea, USA | 2016-Kwon-Highly Sensitive, Flexible, and Wear.pdf |
26. | Capacitive, Torsion, Strain, Touch, Stretchable | Torsion, Strain, Touch | Liquid metal | Elastomeric fibers | - | - | - | Torsion up to 800 rad m-1, strain up to 2.9, touch detection | Rapid response to touch | Further research needed | Capacitive sensing | USA | 2017-Cooper-Stretchable Capacitive Sensors of.pdf |
42. | низького тиску Breathable and Screen-Printed Pressure Sensor | ємність | nanofiber membranes | poly(vinylidene fluoride and thermoplastic polyurethane NM | - | - | 4.2 kPa−1 | 0–400 Pa | <26 ms | 10 000 cycles | Capacitance - Keysight E4980AL Precision LCR meter at 1 kHz frequency, 1 V ac. Pressure - a mechanical performance testing system (Micro Tester, 5848, Instron). | China, USA | 2018-Yang-A Breathable and Screen-Printed Pres.pdf |
46. | Низького тиску | П'єзоопір | Про датчики ємності посилань немає | - | - | - | - | - | - | - | - | USA | 2019-Ding-Recent advances in flexible and wear.pdf |
60. | Capacitive, Resistive, Piezoelectric, Triboelectric | Pressure | Microengineered active layer | - | 1 Pa | - | Varies based on sensor type and microengineering design | Varies based on sensor type and microengineering design | Less than 9.9 ms for some sensors | Stable performance over 30,000 tested cycles for some sensors | Mechanical deformation sensor component | USA | 2020-Ruth-Microengineering Pressure Sensor Act.pdf |
61. | Низького тиску | Не вказана | Посилання на ємнісні датчики 10, 26, 49, 50 | - | - | - | - | - | - | - | - | USA, South Korea | 2020-Shih-Electronic skins and machine learning for intelligent soft robots.pdf |
78. | Низького тиску | Ємність | Весь огляд | - | - | - | - | - | - | - | - | USA | 2022-Ha-Soft Capacitive Pressure Sensors_ Tren.pdf |
Країна | Публікацій | Діаграма розподілу | ||
---|---|---|---|---|
China USA South Korea Australia Japan UK India Singapore Switzerland Austria Belgium Denmark France Ilmenau Ireland Italy Poland Saudi Arabia Slovenia Spain Taiwan Turkey Ukraine | 32 18 17 5 3 3 2 2 2 1 1 1 1 1 1 1 1 1 1 1 1 1 1 |